公开(公告)号：CN118866752A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410855953.X

申请日：2024-06-28

申请人： 北海驭曜科技有限公司

发明人： 范恩 ,  蒋凡 ,  周小春 ,  胡君榕 ,  胡稳

IPC分类号： H01L21/67 ,  G06V20/52 ,  G06V10/80 ,  G05B13/04 ,  H01L21/68

摘要： 本申请公开了晶圆组件的控制方法及晶圆组件。该控制方法包括：根据IMU传感器的第一历史数据获取晶圆组件的历史动作、第一历史速度，以及根据IMU传感器的预测数据获取预测动作；对比学习历史动作和预测动作，得到对比结果；根据第一历史速度和历史动作得到预测速度；根据图像传感器的第二历史数据和第一历史数据得到第二历史速度；利用预测速度和第二历史速度进行策略更新；结合更新后的策略和对比结果控制晶圆组件移动。通过上述方式，解决芯片固晶精度差，定位精度差，电机使用寿命短等问题。

公开(公告)号：CN118824897A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410800199.X

申请日：2024-06-20

申请人： 北海驭曜科技有限公司

发明人： 范恩 ,  蒋凡 ,  周小春 ,  胡君榕 ,  胡稳

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/66 ,  G06N3/048

摘要： 本申请公开了wafer组件的控制方法、wafer组件、固晶机。该控制方法包括：获取wafer组件的参考位置、参考速度、实时位置和实时速度；根据参考位置和参考速度确定参考加速度，以及根据实时位置和实时速度确定实时加速度；以及根据参考位置和实时位置确定跟踪位置误差，根据参考速度和实时速度确定跟踪速度误差；利用实时速度、参考加速度、跟踪位置误差和跟踪速度误差确定出等效控制律；以及利用跟踪位置误差和跟踪速度误差确定出分数阶滑动值；利用分数阶滑动值、可变增益值确定出切换控制律；结合等效控制律和切换控制律控制wafer组件移动。通过上述方式，解决芯片固晶精度差，定位精度差，电机使用寿命短等问题。