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发明公开
一种可抵消正交力的环形陀螺审中-公开

公开(公告)号：CN118882621A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202411205581.2

申请日：2024-08-30

申请人： 华东光电集成器件研究所

发明人： 周铭 , 商兴莲 , 解亚飞 , 齐越 , 凤瑞

IPC分类号： G01C19/5747

摘要： 本发明公开了一种微机械传感器技术领域的可抵消正交力的环形陀螺，旨在解决现有技术中MEMS环形振动陀螺的实时抑制正交误差难的问题，其包括中心锚点，中心锚点外周等间隔连接有多个支撑梁，支撑梁的一端连接中心锚点，且另一端连接弹性环，弹性环外周周向等间隔设置有多个环形电极；弹性环与支撑梁连接处设有正交抵消电极，正交抵消电极包括动梳齿、第一固定梳齿和第二固定梳齿，第一固定梳齿和第二固定梳齿下方与基片连接，且以对应支撑梁为对称轴对称设置，动梳齿的数量为2，其一端均与弹性环连接，另一端分别等交叠长度、等间隙设于第一固定梳齿和第二固定梳齿内。本发明具有零偏小、长期稳定性高等优点，适合作为闭环力平衡速率模式的环形陀螺。