公开(公告)号：CN116707657A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310821089.7

申请日：2023-07-06

申请人： 华中科技大学

发明人： 孙怡宁 ,  张驰成 ,  任泽 ,  许绍航 ,  汪炜钦 ,  周紫文 ,  吴昊 ,  唐明 ,  严思琦

IPC分类号： H04B10/61 ,  H01L31/028 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/112 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0224

摘要： 本发明公开一种具备偏振控制功能的高速相干光接收机，使用硅基狭缝波导结构：采用硅基狭缝波导作为光传输通道，狭缝波导具有高模场限制效应和较长的光与物质相互作用距离，从而增强光的吸收能力；硅基狭缝波导的设计以针对特定波长实现单模或多模传输，提供低损耗和高集成度的优势。本发明结合硅基/金属双缝波导极大提升了石墨烯对光场的吸收率，避免传统二维材料探测器响应度与暗电流难以兼顾的缺点，实现零暗电流、低噪声和低功耗；采用石墨烯作为载流子输运介质，借助石墨烯超高的载流子迁移率，实现载流子高速迁移，最大程度降低载流子迁移率低对探测器带宽的限制。本发明还提供相应的具备偏振控制功能的高速相干光接收机的制备方法。