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公开(公告)号：CN118130390A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410074996.4
申请日：2024-01-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于椭偏测量领域，并具体公开了一种椭偏测量系统校准方法、系统及椭偏测量方法，其包括：S1、通过椭偏测量系统对已知校准样品进行测量，得到探测光谱信号；S2、对椭偏测量系统进行建模，得到理论光谱信号与光弹调制器延迟量及谐波系数的关系；S3、基于探测光谱信号和理论光谱信号构建评价函数并求解，得到光弹调制器幅值延迟量及谐波系数；S4、根据求得的光弹调制器幅值延迟量及谐波系数，对椭偏测量系统参数进行校准。本发明可实现简单、快速、高精度地椭偏测量系统校准。
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