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公开(公告)号：CN118702053A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410695824.9
申请日：2024-05-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本申请提供了一种不同槽宽实现同步等速率刻蚀方法及掩膜获取方法，属于刻蚀工艺技术领域，其主要按照不同槽宽相互形成连通架构的掩膜设置，通过控制不同槽的长宽比，在现有刻蚀设备的工艺允许条件下，实现不同槽的同步刻蚀。刻蚀方法包括：S1：利用光刻方法在晶圆上制备按照行列排列的长宽不同的槽图案，且每一列中的槽制备成连通架构；S2：对S1获取的有槽图案的晶圆进行等离子体干法刻蚀，实现对不等槽宽的槽等速率刻蚀。本申请在不需要额外增加工艺掩膜、光刻、刻蚀等成本的前提下，以最简单的方法适用于各种等离子体深刻蚀工艺，具有较好的应用场景。
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公开(公告)号：CN111308571A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010209274.7
申请日：2020-03-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01V7/16
Abstract: 本发明公开了一种微重力加速度测量装置，包括上舱段部分和下舱段部分，上舱段部分包括上舱段金属壳体、上舱段金属盖、数字电路板、金属隔板、模拟电路板、接插件；所述金属隔板将所述上舱段金属壳体内部空间分为上下两层，所述数字电路板位于上层，所述模拟电路板位于下层；所述接插件固定在所述上舱段金属壳体外壁上，并靠近所述数字电路板；所述下舱段部分包括下舱段金属壳体、下舱段金属盖、三个微重力加速度传感器；所述三个微重力加速度传感器两两正交安装于所述下舱段金属壳体的三个内侧面上。本发明通过合理的机械结构设计与舱内布局，具有体积小、空间利用率高、便于传感器调试和隔热以及利于电路散热的优点。
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公开(公告)号：CN117805439A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311817450.5
申请日：2023-12-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种校准ng级精度加速度计全模型参数的方法及装置，属于加速度计测试技术领域，方法包括：计算多位置测试过程中加速度计摆轴、输入轴和输出轴的重力加速度分量；多位置测试过程包括：摆状态多位置测试过程、门状态多位置测试过程和双轴转动模块绕倾斜轴旋转的多位置测试过程；将多位置测试过程中加速度计摆轴、输入轴和输出轴的重力加速度分量代入加速度计的非线性模型方程，获取多位置测试过程的加速度计输出表达式；使用谐波分析法，结合多位置测试过程的加速度计输出表达式，获取加速度计部分参数；计算加速度计壳体坐标系到加速度计坐标系的变换矩阵，获取加速度计失准角。本发明实现了ng级精度加速度计全模型参数的校准。
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公开(公告)号：CN119986048A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510221968.5
申请日：2025-02-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本申请属于加速度计领域，具体公开了一种加速度计及其振动整流误差补偿方法，加速度计的设计需满足：加速度计的品质因数小于等于加速度计量程与应用环境中振动加速度最大值的比值；加速度计谐振角频率的平方大于等于加速度计量程与检验质量位移上限的比值；且谐振角频率与品质因数的比值小于等于与预设机械热噪声上限相关的预设值；品质因数为加速度计谐振角频率处的增益，增益为不同频率点处加速度输入对应加速度计响应与相同幅值常值加速度输入对应加速度计响应的比值。通过本申请，能够提升加速度计机械结构的灵敏度，避免输出信号饱和，即保证了加速度计的灵敏度，又能够对其进行准确的振动整流误差补偿，提升加速度计整体性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119986042A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510222078.6
申请日：2025-02-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P15/125 , G01P15/08 , G01V1/18 , B81B7/02 , B81C1/00
Abstract: 本申请属于MEMS器件领域，具体公开了一种MEMS加速度计、地震检波器及制备方法，加速度计的敏感单元在SOI制备，包括：外框架、质量块、弹簧结构、拾取结构、第一反馈电容结构以及第二反馈电容结构；弹簧结构制备在SOI第一层，第一反馈电容结构和第二反馈电容结构制备在SOI第三层，第一层和第三层为衬底层和器件层的任一种组合；第一反馈电容结构和第二反馈电容结构分别设置在质量块的敏感轴和垂直敏感轴方向，且分别为变面积电容和变间距电容；拾取结构设置在SOI第一层质量块的上方。通过本申请，基于SOI工艺降低MEMS加速度计所占面积，且可将传感信号和反馈信号通过SOI的绝缘层隔离，提升加速度计检测精度，并调控加速度计反馈执行的线性度。
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公开(公告)号：CN117783587A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311786170.2
申请日：2023-12-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种阵列质量块式MEMS加速度计及其制备方法，MEMS加速度计包括：多个传感器单元和外框架；外框架用于对多个传感器单元进行封装；每个传感器单元包括：质量块、至少一个第一电容梳齿、至少一个第二电容梳齿、内框架、第二弹簧梁以及第一锚点；第二弹簧梁的一端设置有第一锚点，另一端连接质量块的内侧；质量块的外侧连接所述第一电容梳齿，内框架的内侧连接所述第二电容梳齿，内框架的内侧与质量块的外侧相对，使所述第一电容梳齿和第二电容梳齿相互交错分布；所述第一锚点用于将第二弹簧梁的一端与所述外框架连接；多个传感器单元呈阵列排布，且相邻传感器单元的质量块通过第一弹簧梁连接。本发明提高了MEMS加速度计的零偏稳定性。
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公开(公告)号：CN119986046A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510207526.5
申请日：2025-02-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本申请属于加速度计领域，具体公开了一种加速度计非线性系数辨识方法及装置，方法包括：获取加速度计的幅频响应信息；幅频响应信息包括：不同频率点处的增益信息；增益为相应频率点处加速度输入对应加速度计响应与同幅值常值加速度输入对应加速度计响应的比值；欠阻尼加速度计在第一频率段内增益大于1，在第二频率段内增益接近1；结合幅频响应信息，设置多个输入加速度，使得加速度计的多个响应达到多个预设目标输入加速度在第二频率段内的响应，并分别获取多个输出信号；根据多个预设目标输入加速度和多个输出信号，进行非线性系数辨识；其中，至少一个输入加速度的频率在第一频率段内。通过本申请，提供一种欠阻尼加速度计的非线性辨识方案。
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公开(公告)号：CN111308571B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202010209274.7
申请日：2020-03-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01V7/16
Abstract: 本发明公开了一种微重力加速度测量装置，包括上舱段部分和下舱段部分，上舱段部分包括上舱段金属壳体、上舱段金属盖、数字电路板、金属隔板、模拟电路板、接插件；所述金属隔板将所述上舱段金属壳体内部空间分为上下两层，所述数字电路板位于上层，所述模拟电路板位于下层；所述接插件固定在所述上舱段金属壳体外壁上，并靠近所述数字电路板；所述下舱段部分包括下舱段金属壳体、下舱段金属盖、三个微重力加速度传感器；所述三个微重力加速度传感器两两正交安装于所述下舱段金属壳体的三个内侧面上。本发明通过合理的机械结构设计与舱内布局，具有体积小、空间利用率高、便于传感器调试和隔热以及利于电路散热的优点。
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公开(公告)号：CN211627845U
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202020376825.4
申请日：2020-03-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01V7/16
Abstract: 本实用新型公开了一种微重力加速度测量装置，包括上舱段部分和下舱段部分，上舱段部分包括上舱段金属壳体、上舱段金属盖、数字电路板、金属隔板、模拟电路板、接插件；所述金属隔板将所述上舱段金属壳体内部空间分为上下两层，所述数字电路板位于上层，所述模拟电路板位于下层；所述接插件固定在所述上舱段金属壳体外壁上，并靠近所述数字电路板；所述下舱段部分包括下舱段金属壳体、下舱段金属盖、三个微重力加速度传感器；所述三个微重力加速度传感器两两正交安装于所述下舱段金属壳体的三个内侧面上。本实用新型通过合理的机械结构设计与舱内布局，具有体积小、空间利用率高、便于传感器调试和隔热以及利于电路散热的优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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