-
公开(公告)号：CN115755533A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211408944.3
申请日：2022-11-11
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明属于集成电路制造在线测量领域，并具体公开了一种快照式套刻误差测量方法及系统，其包括步骤：对待测件进行测量，分别获取具有正、负预置偏差的两道测量光谱，对测量光谱进行相干解调，将特定频道移频至零频通道；采用线性算子处理移频后的光谱数据，获得对应正负预置偏差的系数；根据系数的实部和虚部系数线性组合构造特征量，则根据对应正负预置偏差的系数分别计算得到对应的特征量；基于特征量与套刻误差的线性关系，根据特征量计算得到套刻误差。本发明无需使用传统的傅里叶分析及截断操作，就可以进行套刻误差的多波长耦合求解，具有较高精度和对噪声的鲁棒性，可用于多场景下的快照式套刻误差测量的数据处理。
-
公开(公告)号：CN117368114A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311188558.2
申请日：2023-09-13
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明属于光学测量相关技术领域，其公开了一种快照式椭偏测量方法及设备，所述设备包括光源、起偏臂、检偏臂、探测器及数据处理器；所述光源通过光纤连接于所述起偏臂，所述检偏臂设置在所述起偏臂的光路上，所述探测器设置在所述检偏臂的光路上；所述数据处理器与所述探测器相连接；所述起偏臂包括依次沿光路设置的第一透镜、起偏器及第一相位延迟器；所述检偏臂包括沿光路依次设置的第二相位延迟器、检偏器及第二透镜。本发明中偏振器件仅仅只有两个相位延迟器和两个偏振片，能够测量大多数各向同性样品，如各向同性薄膜，并且无运动部件，因此安装误差更容易控制，测量速度快且稳定。
-
公开(公告)号：CN116339078A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310116536.9
申请日：2023-02-09
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明属于集成电路制造光学在线测量技术领域，公开了一种角分辨快照式套刻误差测量装置及方法，装置包括：探测光产生模块用于产生探测光；光谱调制模块用于将探测光依次进行第一次偏振、第一次相位调制后以不同的入射角照射在待测套刻样件上，并对反射后的多束光束依次进行第二次相位调制和第二次偏振，得到待测套刻样件反射的偏振调制光；角分辨光谱采集模块用于对所述偏振调制光进行光谱成像，得到待测套刻样件的角分辨光谱；套刻误差测量模块用于基于所述角分辨光谱获得在不同入射角下的待测套刻样件的套刻误差。本发明能够提升套刻误差的测量精度和测量的稳定性，克服了斜入射式结构光斑大的缺点，还保留了快照式椭偏仪简单快速测量的优点。
-
公开(公告)号：CN215201893U
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202120810707.4
申请日：2021-04-20
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： B25H1/14
摘要： 本实用新型公开了一种精密双轴旋转摆动位移平台，属于样品承载平台技术领域，包括平台壳体、载物台、旋转平台、摆动装置和旋转运动装置，旋转运动装置安装于平台壳体底部，旋转平台设置于平台壳体内，在旋转平台上固定安装摆动装置，旋转运动装置的旋转端连接于旋转平台以带动旋转平台旋转；摆动装置包括弧形滑轨、滑轨连接件和第一驱动机构，滑动连接件设置于弧形滑轨的外部并与其滑槽匹配安装，载物台固定安装于滑动连接件的顶部，第一驱动机构设置于弧形滑轨的一侧，第一驱动机构驱动滑动连接件沿弧形滑轨滑动以带动载物台同步摆动。本实用新型实现了位移平台的高精度旋转和摆动，可以与各种高精仪器配合使用，有较强的实用性。
-
-
-
搜索结果
4 条记录 (耗时 0.027 秒)
