公开(公告)号：CN118650269A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202410313680.6

申请日：2024-03-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 许剑锋 ,  王茂 ,  陈子轩 ,  张建国 ,  付宇帆 ,  翟辰鹏 ,  汪学方 ,  肖峻峰 ,  白龙

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开一种硬脆材料原位离子注入改性‑切削去除‑激光退火一体的超精密加工方法及装置，属于硬脆材料超精密加工技术领域。本发明包括以下步骤：根据待加工硬脆材料的类型，确定离子类型、切削参数、离子注入能量和剂量，选择最优参数组合注入待加工硬脆材料，实现对待加工硬脆材料改性；通过超精密切削的方式去除离子注入产生的改性层和部分过渡层材料；通过调控激光参数精准控制损伤层材料的熔融及再结晶过程，诱导熔融区材料生成与基体材料一致的晶体结构，完成硬脆材料的超精密加工。本发明通过将离子注入改性、超精密切削、激光修整系统集成的方式，避免了重复装夹、加工缺陷定位过程，简化了工艺流程，提升了效率和加工精度。

公开(公告)号：CN118621287A

公开(公告)日：2024-09-10

申请号：CN202410314255.9

申请日：2024-03-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 许剑锋 ,  孙浩 ,  段俊宇 ,  张建国 ,  翟辰鹏 ,  汪学方 ,  肖峻峰 ,  白龙

IPC: C23C14/48 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明公开一种应用于硬脆材料加工的基于等离子窗原位离子注入改性方法与系统，属于超精密加工技术领域。包括用于产生并控制得到平行运动的离子束的离子加速单元、用于离子束通过约束的等离子体后输出至大气环境的等离子体窗单元，以及用于实现离子束聚焦的静电透镜单元；本发明可以实现在大气环境下的离子传输，适用于大气环境下的离子注入改性、抛光修形等功能。避免了高真空环境，大大简化了设备和操作流程，降低了成本。并且，在大气环境下进行离子注入改性通常更加方便和快捷，不需要复杂的真空系统，且设备启动和关闭的时间短。离子注入可以在材料的特定区域进行，使得可以有选择性地改善材料的局部特性，具有极高的应用前景。