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公开(公告)号：CN112747837B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202011538459.9
申请日：2020-12-23
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01K11/324 , C30B25/16 , C23C16/52
摘要： 本发明公开了一种实时测量MOCVD反应腔内气相温度的飞秒CARS系统，包括MOCVD腔体系统、飞秒CARS系统，所述MOCVD腔体系统上设MOCVD反应腔激光入射口和MOCVD反应腔激光出射口，所述飞秒CARS系统的激光出射口与所述MOCVD反应腔激光入射口连接，所述飞秒CARS系统的激光入射口与所述MOCVD反应腔激光出射口连接。本发明利用飞秒CARS的知识，通过飞秒激光脉冲激发MOCVD中气相分子的拉曼振动，测量CARS信号，从而得到气相分子的温度信息，这为MOCVD气相测温提供了一种全新的解决方案。主要优点在于气相测温范围大，测量精度高，响应时间短，可测量反应腔全场温度。同时飞秒CARS系统的光学回路简单，成本低。
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公开(公告)号：CN108507905A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810712553.8
申请日：2018-06-29
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01N11/00
摘要： 本发明公开了一种利用液滴喷射的微量流体粘度测量系统及方法，该系统包括：气压控制单元、驱动单元和液滴测速单元；驱动单元包括电控制器、喷嘴、压电模块和液体容器；压电模块根据电控制器发出的控制信号挤压喷嘴从而喷射出液滴；气压控制单元连接至液体容器，向喷嘴内的液体提供平衡气压；驱动单元在不施加驱动力时喷嘴内充满液体且内部液面底部与喷嘴出口平齐的平衡状态；液滴测速单元用于测量液滴喷射速度。本发明的方法利用上述装置的平衡条件及测得的液滴喷射速度求取液体表面张力，进而算出根据液滴产生的临界值根据该临界值与稳定性的对应关系，求取流体粘度。本发明操作简单、成本低，利于推广使用。
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公开(公告)号：CN105435554B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201510968018.5
申请日：2015-12-21
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种空气净化装置，它包括预处理器、低温等离子体发生组件以及尾气处理器，它们由下向上依次布置构成圆柱形结构；预处理器用于对悬浮颗粒、飘尘及PM2.5进行净化，并使空气通过；低温等离子体发生组件采用六边形的管式发生器进行介质阻挡放电净化，以节约空间，增加进气量，提高空气净化效率；尾气处理器用于对经过六边形管式发生器净化后的空气进行尾气处理，脱除介质阻挡放电净化时的副产物臭氧，以进一步提高空气净化效率。低温等离子体发生组件不需更换，长期使用只需对预处理膜及尾气处理膜进行更换，可大幅节约后期维护成本,尤其适用于室内对空气净化的需求。不仅提高了净化效率，也为用户节省了使用成本和空间。
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公开(公告)号：CN112748100B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202011544011.8
申请日：2020-12-23
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种基于飞秒CARS的MOCVD中甲烷光谱成分分析系统及方法，包括MOCVD腔体、激光入射口和激光出射口，激光入射口与飞秒CARS系统的信号输出线连接，所述激光出射口与飞秒CARS系统的信号接收线连接，所述MOCVD腔体中填充透射气相物质。本发明利用飞秒CARS信号测量甲烷分子的振动信息，由于CARS信号的强度通常比自发拉曼信号提高了104～105倍，因而该系统及方法测量精度高，同时采用飞秒激光器，激光脉冲在飞秒级别，响应时间短。同时光学回路布置简单，装置成本较低。
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公开(公告)号：CN112921307B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202110073652.8
申请日：2021-01-20
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明属于光学检测相关技术领域，并公开了一种用于提升MOCVD喷淋均匀性的光学检测装置。该装置包括生长反应单元和光学检测反馈调控单元，生长反应单元包括反应腔体、喷淋头、基座和加热器，气体从进气口进入喷淋头后，从喷淋头中喷出，在被加热后的基板上发生分解反应；光学检测反馈控制单元用于检测从喷淋头中喷出的气体的密度分布场，包括光源、相机和抛物面镜，检测中，打开光源，气体从喷淋头喷出后，气体分布较多的区域的光线被喷出的气体折射无法原路返回，在相机成像中形成较暗的区域，其它光线原路返回，在相机成像中形成较亮的区域，以此获得喷出气体的密度分布。通过本发明，解决喷淋不均匀、无法实时调控等问题。
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公开(公告)号：CN110570910A
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201910763813.9
申请日：2019-08-19
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种基于图形衬底技术生长氮化镓薄膜的降低位错密度的方法及系统，属于氮化镓薄膜领域，该方法包括：根据爬坡弹性带理论和过渡状态理论，对氮化镓薄膜生长过程中原子扩散行为等进行分子动力学和动力学蒙特卡洛计算，模拟出不同衬底模型下原子表面扩散过程，得到扩散活化能矩阵，在以此为输入条件模拟不同温度、压强下薄膜形态、位错线的演化。从而解决目前氮化镓薄膜中位错密度影响其光、电学性能的问题，在此基础之上，进一步计算出低位错密度氮化镓薄膜的优化参数温度、压强及衬底类型等，对改善氮化镓薄膜的光、电学性能、提高其工业价值有着重要的意义。
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公开(公告)号：CN105472856A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510974853.X
申请日：2015-12-21
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： H05H1/24
CPC分类号： H05H1/2406 , H05H2001/2412
摘要： 本发明公开了一种低温等离子体发生器，它包括铜棒、发生器腔体和金属网，发生器腔体为正六边形管状，材料为石英玻璃或刚玉，作为放电间隙中间的介质；铜棒与发生器腔体形状相同，布置于发生器腔体内，其两端均通过定位塞密封固定，定位塞上均开有用于安装通气管的通孔，金属网包裹在发生器腔体的外表面，作为接地负极，以保证放电正常进行，并固定发生器腔体；工作时铜棒通过正极接线头接高压电源正极，金属网通过外接高压电线接高压电源负极，通电后铜棒与发生器腔体的缝隙间产生紫色的低温等离子体，并使低温等离子体的产生量得以增加。当多个低温等离子体发生器并联时，可提高了空间利用率，并节省介质材料与负极材料使用量。
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公开(公告)号：CN113735422B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202111014372.6
申请日：2021-08-31
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明属于非接触式红外测温相关技术领域，并公开了一种石英玻璃拉制过程中在线监测温度的测温系统及方法。该系统包括吊拉炉和红外热像仪，吊拉炉用于石英玻璃的吊拉成形，该吊拉炉中石英玻璃发生初始塑性变形的区域的一侧设置有观察窗口，红外热像仪设置在该观察窗口外，用于监测吊拉炉中保温层上的温度和石英玻璃融化区域的温度；红外热像仪与控制器连接，当其测量获得保温层的温度后，将测量获得的温度传递给控制器，并在该控制器中进行多物理场模拟，以此获得模拟的石英玻璃融化区域的模拟温度，利用该模拟温度对监测的融化区域温度进行修正，以此作为真实的融化区温度。通过本发明，解决吊拉炉内温度测量不准确以及测量困难的问题。
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公开(公告)号：CN110570910B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201910763813.9
申请日：2019-08-19
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种基于图形衬底技术生长氮化镓薄膜的降低位错密度的方法及系统，属于氮化镓薄膜领域，该方法包括：根据爬坡弹性带理论和过渡状态理论，对氮化镓薄膜生长过程中原子扩散行为等进行分子动力学和动力学蒙特卡洛计算，模拟出不同衬底模型下原子表面扩散过程，得到扩散活化能矩阵，在以此为输入条件模拟不同温度、压强下薄膜形态、位错线的演化。从而解决目前氮化镓薄膜中位错密度影响其光、电学性能的问题，在此基础之上，进一步计算出低位错密度氮化镓薄膜的优化参数温度、压强及衬底类型等，对改善氮化镓薄膜的光、电学性能、提高其工业价值有着重要的意义。
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公开(公告)号：CN112747837A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202011538459.9
申请日：2020-12-23
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01K11/324 , C30B25/16 , C23C16/52
摘要： 本发明公开了一种实时测量MOCVD反应腔内气相温度的飞秒CARS系统，包括MOCVD腔体系统、飞秒CARS系统，所述MOCVD腔体系统上设MOCVD反应腔激光入射口和MOCVD反应腔激光出射口，所述飞秒CARS系统的激光出射口与所述MOCVD反应腔激光入射口连接，所述飞秒CARS系统的激光入射口与所述MOCVD反应腔激光出射口连接。本发明利用飞秒CARS的知识，通过飞秒激光脉冲激发MOCVD中气相分子的拉曼振动，测量CARS信号，从而得到气相分子的温度信息，这为MOCVD气相测温提供了一种全新的解决方案。主要优点在于气相测温范围大，测量精度高，响应时间短，可测量反应腔全场温度。同时飞秒CARS系统的光学回路简单，成本低。
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