公开(公告)号：CN116754492A

公开(公告)日：2023-09-15

申请号：CN202310453952.8

申请日：2023-04-25

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈修国 ,  钟海硕 ,  张传维 ,  刘世元

IPC: G01N21/21

Abstract: 本发明公开了一种成像椭偏仪测量系统及系统参数校准方法，属于光学仪器测量领域，包括：样品台，用于放置样品；入射光生成模块，用于生成工作波长范围内的平行的入射光；起偏模块，用于调制入射光的偏振态；第一会聚透镜，用于将偏振入射光聚焦于放置于样品，产生反射光；第二会聚透镜，用于将反射光转换为平行光；检偏模块，用于调制平行光的偏振态；光束调整模块，用于将偏振平行光转换为第一出射光束和第二出射光束；图像信息探测模块，用于将第一出射光束调节为单色光后对样品进行成像。本发明能够加快成像椭偏仪系统参数校准的速度，使成像椭偏仪同时具有高横向分辨率的能力和快速校准的能力，从而提高成像椭偏仪整体的测量速度。

公开(公告)号：CN117451632A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202311301581.8

申请日：2023-10-09

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈修国 ,  钟海硕 ,  张传维 ,  刘世元

IPC: G01N21/21

Abstract: 本发明属于光学仪器测量相关技术领域，其公开了一种成像椭偏仪测量系统成像校准方法，包括：获取相机在多组曝光时间下采集的多组第一图像；对多组第一图像进行拟合获得光强对应的非线性因子，采用非线性因子对相机进行校正；采用校正后的相机进行拍摄获得第二图像，选取第二图像中的一像素点，以该像素点为中心向周边扩展获得多个像素点，对多个像素点的求平均，将像素平均值作为该像素点对应的目标光强值；以目标光强值为出射光强值反解成像椭偏仪测量系统的出射光强积分式获得成像椭偏仪测量系统的傅里叶系数，实现对成像椭偏仪测量系统的成像校准。本申请减弱了光路结构振动、光电转换非线性以光强积分时间偏差导致的误差，提高了校准准确性。