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公开(公告)号:CN102901445B
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201210366219.4
申请日:2012-09-28
申请人: 华中科技大学 , 武汉飞恩微电子有限公司
CPC分类号: G01N21/9501 , G01N21/55 , G01N21/95 , G01N25/72 , G01N2201/0636 , G01N2201/0638 , G01N2201/10 , G01N2201/102
摘要: 本发明公开了一种基于光热成像的微电子封装工艺质量检测装置,包括图像获取装置、工作台、控制装置及数据处理装置;其中图像获取装置包括支架横梁、平动电机、成像探头、光发射器;平动电机固定于横梁的下侧面,成像探头垂直固定于平动电机中的移动块;光发射器通过可调连接件连接至所述移动块,通过调节可调连接件使其发射的光经试样反射后进入成像探头;数据处理装置用于对所述图像获取装置获取的光图像和热图像数据进行处理后获得相关系数和均方差统计系数,并将所述相关系数和均方差统计系数与预设的阈值进行比较,根据比较结果获得工艺质量评估。本发明可以实现残渣颗粒和空洞识别、材质识别及微孔深度测量,检测评估更可靠。
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公开(公告)号:CN102901445A
公开(公告)日:2013-01-30
申请号:CN201210366219.4
申请日:2012-09-28
申请人: 华中科技大学 , 武汉飞恩微电子有限公司
CPC分类号: G01N21/9501 , G01N21/55 , G01N21/95 , G01N25/72 , G01N2201/0636 , G01N2201/0638 , G01N2201/10 , G01N2201/102
摘要: 本发明公开了一种基于光热成像的微电子封装工艺质量检测装置,包括图像获取装置、工作台、控制装置及数据处理装置;其中图像获取装置包括支架横梁、平动电机、成像探头、光发射器;平动电机固定于横梁的下侧面,成像探头垂直固定于平动电机中的移动块;光发射器通过可调连接件连接至所述移动块,通过调节可调连接件使其发射的光经试样反射后进入成像探头;数据处理装置用于对所述图像获取装置获取的光图像和热图像数据进行处理后获得相关系数和均方差统计系数,并将所述相关系数和均方差统计系数与预设的阈值进行比较,根据比较结果获得工艺质量评估。本发明可以实现残渣颗粒和空洞识别、材质识别及微孔深度测量,检测评估更可靠。
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公开(公告)号:CN105484331B
公开(公告)日:2018-06-19
申请号:CN201610066536.2
申请日:2016-01-30
申请人: 武汉大学 , 武汉飞恩微电子有限公司
摘要: 本发明公开了一种家用的尿动力检测智能马桶及健康服务系统。包括大小便分离马桶,尿动力检测系统,人体识别系统,灯光感应系统,卫生清洁装置,智能控制装置以及健康信息服务系统。通过均布于小便池以及电子智能量筒上的压力测量装置,可以实时记录排尿压力,排尿量,尿速,尿流率与时间的关系。本发明适合家用尿动力检测,通过人体识别系统的作用,可以同时实现对多名家庭成员的实时监测。健康信息服务系统用于接收检测信号并进行数据分析,并提供相应的护理信息。
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公开(公告)号:CN104154966B
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201410360322.7
申请日:2014-07-25
申请人: 武汉飞恩微电子有限公司
IPC分类号: G01F23/14
摘要: 本发明公开了一种基于压力检测的液位传感器,包括压力检测模块、外壳以及处理电路,其特点在于,所述压力检测模块可采用单芯片或双芯片模式,所述单芯片模式是将压力检测模块置于竖向信息管的一端,检测被测液体底部压力,同时将液面上腔作为参考压力;所述双芯片模式是将两个压力检测模块分别置于竖向信息管的两端,分别检测液体底部和液面上腔的气压。本发明的公开的基于压力检测方案的液位计克服了干簧管式和厚膜电阻式液位计精度低、可靠性不高等缺陷,同时输出信号可直接为后续仪表使用。
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公开(公告)号:CN104942288B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201510356527.2
申请日:2015-06-25
申请人: 武汉大学 , 武汉飞恩微电子有限公司
CPC分类号: Y02P10/295
摘要: 本发明公开了一种基于纳秒 ‑ 皮秒 ‑ 飞秒激光复合技术 的电容式厚膜压力传感器制备方法,包括:首先,根据压力传感器各层的精度要求,选择纳秒、皮秒或飞秒激光作为原始激光进行扫描烧结熔化。然后,根据实时监测反馈选择对特定区域使用皮秒或飞秒激光进行精加工。根据压力传感器加工的实际需要,实时监测可以为尺寸检测、晶相结构检测、微观形貌检测、成分检测等。本发明可实现更精确的尺寸控制和电阻阻值控制,包括电极间距、电极尺寸等,省去了传统3D打印完成后所需的清理、抛光等工序,有效解决了吹粉、残余应力高、强度低等问题。
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公开(公告)号:CN104344851B
公开(公告)日:2016-12-28
申请号:CN201310329282.5
申请日:2013-07-31
申请人: 武汉飞恩微电子有限公司
IPC分类号: G01D21/02
摘要: 一种用于智能交通的多参数组合传感器,包括:集成多功能传感器模块、信号控制及处理模块、电源管理模块、壳体、基板、下垫片、上顶盖、压电单元,其特征在于所述集成多功能传感器模块、信号控制及处理模块、电源管理模块封装在基板上,力传感器的应变片粘贴在壳体上,传感器的外壳为圆柱形,基板安装在外壳上端面的安装槽内,外壳的下端设有一下垫片,上顶盖安装在外壳的上端面之上,上顶盖上设有用于安装压电单元的圆槽,集成多功能传感器模块采集到的数据经无线发送给外围接受设备。本发明的优点是可实现交通流、路况温度湿度、路基受力、路基损失等多方面交通信息测量,能够实现能量自管理和数据无线发送,安装容易,更换方便。
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公开(公告)号:CN105127597B
公开(公告)日:2016-05-04
申请号:CN201510401019.1
申请日:2015-07-09
申请人: 武汉大学 , 武汉飞恩微电子有限公司
IPC分类号: B23K26/36 , B23K26/382 , G01M9/06
摘要: 本发明涉及风洞领域,提供一种智能风洞激光加工方法,采用激光加工成型第一传感器,同时在风洞内壁上加工有第一凹槽,第一传感器安设于对应的第一凹槽内,且在风洞内壁上激光加工有第一微互连,第一传感器与对应的第一微互连之间电性接触;本发明还提供了一种智能风洞。本发明中,第一传感器安设于对应的第一凹槽内后,其不会影响风洞内壁的平滑性,而第一微互连则又隐藏于风洞内壁内,对此两者均不会对风洞内实验数据测量产生干扰,可以更精确、实时以及快速测量风洞的各项参数,同时对于第一传感器可以根据需要采用耐高底温材料制作,其具有较强的稳定性,有效降低其测量误差。
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公开(公告)号:CN105507394A
公开(公告)日:2016-04-20
申请号:CN201610067357.0
申请日:2016-01-30
申请人: 武汉大学 , 武汉飞恩微电子有限公司
IPC分类号: E03D9/00 , A61B5/20 , A61B5/0488
CPC分类号: E03D9/00 , A61B5/04882 , A61B5/204 , A61B5/205 , A61B5/208
摘要: 本发明公布了一种实现尿动力学检测的智能马桶及健康监测方法及配套的健康监测系统;其包括马桶座主体和马桶盖主体、尿动力学检测装置、环境监测装置、人体识别装置、清洁装置、健康监测装置、智能控制装置、客户端应用软件及数据分析服务器。尿动力学检测装置用于监测记录人体排尿量、排尿时间、尿流率等尿动力学参数,人体识别转置用于用户的身份识别,智能控制装置控制着马桶上的各种装置,并数据传送服务器进行数据分析,外部电子设备如手机、平板电脑可以对数据实时查看。本发明智能马桶和健康监测系统能够实现对人体尿动力学参数检测,并通过智能控制装置与外部连接实现健康实时监测,有效推动智能家居技术发展。
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公开(公告)号:CN105157905A
公开(公告)日:2015-12-16
申请号:CN201510459420.0
申请日:2015-07-30
申请人: 武汉飞恩微电子有限公司
IPC分类号: G01L9/00
摘要: 本发明涉及一种气体压力传感器,包括带有引脚的端钮、外壳和敏感组件,端钮与外壳密封连接并在连接端配合形成密封的容腔,外壳远离端钮的一端设有与容腔连通的测压通孔,敏感组件设在容腔内,敏感组件包括压力芯片和与端钮上的引脚连接的PCB板,所述压力芯片的感压面固定在外壳上,压力芯片的背面通过金丝与PCB板连接,压力芯片正对测压通孔并通过感压面将其密封。本发明该传感器所测气体压力的精度高,结构简单,耐腐蚀。
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公开(公告)号:CN105014769A
公开(公告)日:2015-11-04
申请号:CN201510356921.6
申请日:2015-06-25
申请人: 武汉大学 , 武汉飞恩微电子有限公司
CPC分类号: B28B1/001 , B28B17/0081 , C04B35/64
摘要: 本发明公开了一种NOx传感器的基于纳秒-皮秒-飞秒激光复合技术的3D打印制备方法,属于NOx传感器领域。该方法包括如下步骤:(1)在工作平台上铺设原材料粉末并预热;(2)采用纳秒激光对工作平台上的原料进行烧结熔化,同时采用实时监控系统检测传感器各打印层结构的精度;(3)依次反复重复步骤(1)和(2),直到完成NOx传感器的制备。其优点是:本发明有效避免现今激光烧结过程中出现的吹粉,残余应力等复杂问题,可以省去补偿步骤;本发明实现了更精确的尺寸控制和电阻阻值控制,工艺更简单不需要后续修阻,具有更好的一致性。
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