公开(公告)号：CN113488845A

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN202110736094.9

申请日：2021-06-30

Applicant: 华中科技大学 ,  深圳华中科技大学研究院

Inventor： 袁琴云 ,  陈曦 ,  唐霞辉 ,  王平 ,  方星 ,  刘松嘉 ,  范奥 ,  姚巍

IPC: H01S5/14 ,  H01S5/026 ,  H01S5/183

Abstract: 本发明公开了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频方法及装置，属于半导体激光技术领域。该方法具体为S1：激发蓝光二极管阵列发出多个光束，并入射至同一区域；S2：对入射到同一区域的多束光束以相同的衍射角衍射，使其成为合束光；S3：将合束光一部分反射回到蓝光二极管阵列形成反馈，用于压缩线宽，另一部分透射输出窄线宽光束；S4：对透射输出的窄线宽光束形成振荡，同时进行倍频后输出；S5：将倍频后的输出光先分光再聚焦，输出深紫外光。还提出了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频装置。本发明的方法及装置是一种新型的脉冲电源泵浦多管蓝光二极管阵列倍频系统，可以提高输入蓝光的倍频效率及输出深紫外光的功率。

公开(公告)号：CN113488845B

公开(公告)日：2023-03-28

申请号：CN202110736094.9

申请日：2021-06-30

Applicant: 华中科技大学 ,  深圳华中科技大学研究院

Inventor： 袁琴云 ,  陈曦 ,  唐霞辉 ,  王平 ,  方星 ,  刘松嘉 ,  范奥 ,  姚巍

IPC: H01S5/14 ,  H01S5/026 ,  H01S5/183

Abstract: 本发明公开了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频方法及装置，属于半导体激光技术领域。该方法具体为S1：激发蓝光二极管阵列发出多个光束，并入射至同一区域；S2：对入射到同一区域的多束光束以相同的衍射角衍射，使其成为合束光；S3：将合束光一部分反射回到蓝光二极管阵列形成反馈，用于压缩线宽，另一部分透射输出窄线宽光束；S4：对透射输出的窄线宽光束形成振荡，同时进行倍频后输出；S5：将倍频后的输出光先分光再聚焦，输出深紫外光。还提出了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频装置。本发明的方法及装置是一种新型的脉冲电源泵浦多管蓝光二极管阵列倍频系统，可以提高输入蓝光的倍频效率及输出深紫外光的功率。

公开(公告)号：CN113594029A

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202110854365.0

申请日：2021-07-28

Applicant: 华中科技大学 ,  深圳华中科技大学研究院

Inventor： 吴洋 ,  唐霞辉 ,  彭浩 ,  李玉洁 ,  秦应雄 ,  姚相杰 ,  方星 ,  陈曦

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/67 ,  B23K26/06 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开了一种基于复合激光源的激光退火设备及退火方法，该退火设备包括载物台、复合激光源和移动部件，载物台用于承载待退火结构；复合激光源包括第一激光源和第二激光源；第一激光源的功率大于第二激光源的功率；第一激光和第二激光分别入射至待退火结构表面的不同区域；移动部件，用于使载物台和复合激光源相对运动，以使待退火结构同一退火区域先经第二激光预热后再经第一激光退火。在本发明中，复合激光源能同时发射不同功率的第一激光和第二激光，通过移动部件可以使待退火结构与复合激光源相对运动，第二激光用于预热，第一激光用于退火，当前区域的退火和下一区域的预热同时进行，可大大节省整体退火时间，提高退火效率。

公开(公告)号：CN214044330U

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN202022895855.9

申请日：2020-12-07

Applicant: 深圳市联赢激光股份有限公司 ,  华中科技大学

Inventor： 唐霞辉 ,  方星 ,  常耘玮 ,  丁泽宇 ,  陈国宁 ,  韩金龙 ,  牛增强

IPC: H01S5/00 ,  H01S5/024 ,  H01S5/042

Abstract: 本新型实用专利公开了一种单管蓝光半导体激光器外腔装置,属于半导体激光技术领域。包括带有水冷装置的蓝光二极管基座、蓝光二极管、角度可调的平面镜固定座、角度可调的光栅固定座、闪耀光栅、平面镜、非球面准直镜、柱透镜、聚焦透镜、光纤，所述蓝光二机管基座的一侧设置有激光二极管接口，所述蓝光二极管通过该接口固定在基座中，所述非球面准直镜固定在蓝光二极管的右侧，所述蓝光二极管基座的另一侧设置有电路板，用于连接蓝光二极管和电源，能有效地解决Littrow型ECDL输出光束方向随光栅转动而发生改变的难题，减小平面镜‑光栅的初始间距，可以减小输出光束的横向位移，增大无跳模调谐范围。

公开(公告)号：CN214411762U

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN202120521701.5

申请日：2021-03-12

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 丁泽宇 ,  唐飞宇 ,  常耘玮 ,  曾炜家 ,  张丰朝 ,  唐霞辉 ,  方星

IPC: H01S5/40 ,  H01S5/14 ,  H01S5/06 ,  H01S5/068

Abstract: 本实用新型属于蓝光半导体激光器领域，公开了一种基于光栅外腔空间合束的蓝光激光器，包括由若干个蓝光激光二极管(1)组成的2路半导体激光阵列；对于任意一个蓝光激光二极管(1)，该蓝光激光器还包括依次沿光路设置的快轴准直镜(2)、光栅(3)、平面反射镜(4)和阶梯镜(5)，能够将同一路半导体激光阵列中的蓝光激光合束成一路合束激光；此外，该蓝光激光器还包括依次沿光路设置的柱面镜(6)、偏振合束棱镜(7)和聚焦镜(8)，用于发生二次合束以得到目标的蓝光合束聚焦激光。利用本实用新型，能够获得频率和波长稳定、线宽性能优秀、单光功率高的蓝光激光，具有较好的实用意义。