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公开(公告)号：CN114871571B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202210594254.5
申请日：2022-05-27
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/24 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种蓝光激光焊接机器人的一体式主副分束装置，属于蓝光半导体激光技术领域。包括蓝光光束准直系统、蓝光主副光束分束系统、聚焦系统、副光束准直光束线形转化系统、线性蓝光扫描寻位光路、CCD相机；蓝光光束经蓝光光束准直系统扩束准直后入射至蓝光主副光束分束系统，对蓝光光束进行分解，形成用于蓝光焊接的主光束和用于蓝光扫描的副光束；聚焦系统用于将主光束在指定焊接位置汇聚，进行焊接；副光束准直光束线形转化系统用于将副光束转化为线形激光；线性蓝光扫描寻位光路用于根据被CCD相机接收线形激光的反射光，进行图像处理得到实际焊接的焊点位置。本发明将激光焊接与激光焊缝检测两种功能集中到一个焊接设备上，不需手眼标定。
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公开(公告)号：CN113594029A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110854365.0
申请日：2021-07-28
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: H01L21/268 , H01L21/67 , B23K26/06 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种基于复合激光源的激光退火设备及退火方法，该退火设备包括载物台、复合激光源和移动部件，载物台用于承载待退火结构；复合激光源包括第一激光源和第二激光源；第一激光源的功率大于第二激光源的功率；第一激光和第二激光分别入射至待退火结构表面的不同区域；移动部件，用于使载物台和复合激光源相对运动，以使待退火结构同一退火区域先经第二激光预热后再经第一激光退火。在本发明中，复合激光源能同时发射不同功率的第一激光和第二激光，通过移动部件可以使待退火结构与复合激光源相对运动，第二激光用于预热，第一激光用于退火，当前区域的退火和下一区域的预热同时进行，可大大节省整体退火时间，提高退火效率。
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公开(公告)号：CN114871571A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210594254.5
申请日：2022-05-27
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/24 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种蓝光激光焊接机器人的一体式主副分束装置，属于蓝光半导体激光技术领域。包括蓝光光束准直系统、蓝光主副光束分束系统、聚焦系统、副光束准直光束线形转化系统、线性蓝光扫描寻位光路、CCD相机；蓝光光束经蓝光光束准直系统扩束准直后入射至蓝光主副光束分束系统，对蓝光光束进行分解，形成用于蓝光焊接的主光束和用于蓝光扫描的副光束；聚焦系统用于将主光束在指定焊接位置汇聚，进行焊接；副光束准直光束线形转化系统用于将副光束转化为线形激光；线性蓝光扫描寻位光路用于根据被CCD相机接收线形激光的反射光，进行图像处理得到实际焊接的焊点位置。本发明将激光焊接与激光焊缝检测两种功能集中到一个焊接设备上，不需手眼标定。
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公开(公告)号：CN114813050A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210394522.9
申请日：2022-04-14
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种多模蓝光单管激光模式测量装置，属于蓝光半导体激光技术领域。包括水冷系统、沿光路依次放置的准直系统、单光栅分光系统、远场傅里叶变换系统、第一CCD相机和第二CCD相机；所述水冷系统上设置有待测的多模蓝光单管激光器，单光栅分光系统包括反射式光栅和反射镜组，以及分光后的反射镜、聚焦透镜，通过反射镜组的空间位置角度调整，进行多次衍射分光，多次衍射分光解决了蓝光波长短而导致的分光困难，并且只需要一块光栅，成本低，光栅利用率高。本发明利用远场傅里叶变换，可以同时测量激光束的近场模式和远场模式，在近场模式结构无法分辨时，利用远场双峰结构特性建立蓝光单管模式模型。
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公开(公告)号：CN114813050B
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202210394522.9
申请日：2022-04-14
Applicant: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种多模蓝光单管激光模式测量装置，属于蓝光半导体激光技术领域。包括水冷系统、沿光路依次放置的准直系统、单光栅分光系统、远场傅里叶变换系统、第一CCD相机和第二CCD相机；所述水冷系统上设置有待测的多模蓝光单管激光器，单光栅分光系统包括反射式光栅和反射镜组，以及分光后的反射镜、聚焦透镜，通过反射镜组的空间位置角度调整，进行多次衍射分光，多次衍射分光解决了蓝光波长短而导致的分光困难，并且只需要一块光栅，成本低，光栅利用率高。本发明利用远场傅里叶变换，可以同时测量激光束的近场模式和远场模式，在近场模式结构无法分辨时，利用远场双峰结构特性建立蓝光单管模式模型。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118249187A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410374275.5
申请日：2024-03-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种蓝光注入式自锁定窄线宽装置，属于蓝光半导体激光技术领域。该装置包括：第一光束整形模块对激光束进行整形并调整光路方向，得到沿水平或竖直方向入射到半透半反镜的第一入射光束；半透半反镜内部沿对角线方向均匀交错镀有反射膜和增透膜，对水平光束进行空间加密；半波片调整加密光束的偏振态为P偏振；透射光栅将P偏振光束进行衍射分光，0阶透射光通过光纤输出，+1阶透射光中特定波长光束经柱面镜组筛选入射到蓝光二极管的有源区；蓝光二极管根据接收到的特定波长光束反馈输出该特定波长的窄线宽光束，沿原光路反馈回蓝光单管阵列的有源区内，以使蓝光单管阵列输出的激光束线宽减小。实现提高装置的线宽压缩能力和功率效率。
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公开(公告)号：CN118380848A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410434700.5
申请日：2024-04-11
Applicant: 吉林省永利激光科技有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷的用于射频板条CO2激光器的整形光路自适应调节装置，属于射频板条CO2激光器领域，包括光束压缩单元、空间滤波器、整形单元、压电陶瓷组件以及压电陶瓷控制器；从射频板条CO2激光器的谐振腔输出的激光经过光束压缩单元在非稳方向进行压缩后，再依次经过空间滤波器和整形单元。本发明通过压电陶瓷控制器控制压电陶瓷组件调节激光器外整形光路中光束压缩单元的空间姿态及整形单元的空间位置，通过监测最终输出光束的光斑模式及功率等特性参数来发送调节信号，使得整形光路整体处于最佳整形状态，提升激光器最终输出光束的光斑质量。
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公开(公告)号：CN116345288A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310337945.1
申请日：2023-03-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/13 , H01S3/00 , H01S3/10 , H01L21/268 , H01L21/324 , G02B27/09
Abstract: 本发明公开了一种用于晶圆退火的CO2激光自适应菲涅尔匀化装置及方法，属于集成电路晶圆退火领域。装置包括频板条CO2激光器、光场传感器、温度传感器、聚焦镜、反射镜、衍射元件、第一柱面聚焦镜、可调式菲涅尔棱镜、分光镜、第二柱面聚焦镜、半导体激光器。通过光场传感器实时监测菲涅尔棱镜匀化后的光束均匀度，调节可调式菲涅尔棱镜，能够提高激光的均匀性，提高晶圆退火质量增加退火的成功率。并通过温度传感器检测晶圆退火时表面温度场，将信息传至上位机，结合光场分布，对射频板条CO2激光器的功率进行实时调控，保证晶圆激光退火成功率。
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公开(公告)号：CN118589278A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410602961.3
申请日：2024-05-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/03 , G02B27/09 , G02B27/10 , G02B27/14 , H01S3/034 , H01S3/08 , H01S3/223 , H01S5/40 , H01S5/06 , H01S3/00
Abstract: 本发明公开了一种射频板条CO2激光器腔镜自适应调节装置、激光器，属于射频板条CO2激光器领域，包括自适应调节机构、输出光光束整形系统和输出光束检测反馈系统，自适应调节机构包括对称设置的两个蓝光半导体激光器阵列；两个蓝光半导体激光器阵列分别设置于激光器两个腔镜背侧；输出光光束整形系统使部分输出光束反射至光束检测反馈系统；输出光束检测反馈系统将输出光束的光信号转换为电信号，根据电信号计算并向蓝光半导体激光器阵列发出调控信号以控制蓝光半导体激光器阵列的输出功率，并对第一腔镜、第二腔镜施加反形变的热量。本发明使用蓝光半导体激光作为激光器腔镜形变热补偿的热源，从而能实现较高的热补偿效率，能够及时补偿腔镜形变。
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公开(公告)号：CN222814451U
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202421420113.2
申请日：2024-06-20
Applicant: 吉林省永利激光科技有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种偏置电路及射频功率放大器，属于高功率激光器技术领域；偏置电路包括可编程数模转换模块，该模块的使能信号端分别与滤波电容C1、C2、稳压电感L1的一端相连，且滤波电容C1、C2的另一端接地，外部使能信号通过稳压电感L1的另一端接入外部使能信号；外部使能信号经电压稳压和电容滤波后输入至可编程数模转换模块，能够对该模块的输出电压进行稳压，保证数模转换的精度要求，实现对所需偏置电压的精准控制，进而保证偏置电压的稳定性和精确性。与此同时，当功率放大芯片发生变化时，也可对可编程数模转换模块的参数进行灵活调整。基于此，本实用新型能够在保证稳定精确的前提下，降低偏置电路的复杂度、且提高偏置电路的灵活性。
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