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实用新型
运动机构的测量装置及测量系统有权

公开(公告)号：CN218443850U

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202220953307.3

申请日：2022-04-21

Applicant: 华为技术有限公司

Inventor： 杜聪聪 , 刘浩江 , 贺雅洁 , 陈伟 , 赵彬 , 卢圣睿 , 朱学谦

IPC: G01C1/00 , G01S17/08 , G01D21/02

Abstract: 本申请实施例公开了运动机构的测量装置及测量系统，特别适用于运动精度达到微米级的微型运动机构的性能测试；该测量装置包括测量模块，该测量模块包括基座、运动载台和测量部件；运动载台和测量部件均安装在基座的内腔；运动载台用于承载待测运动机构，运动载台可带动待测运动机构动作以使待测运动机构的待测面处在测量部件的测量范围内；测量部件可沿第一方向移动以靠近或远离运动载台。通过设置集成为一体结构的测量模块，实现了对待测运动机构在多姿态下的运动性能测量。

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