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公开(公告)号:CN118469893A
公开(公告)日:2024-08-09
申请号:CN202310126239.2
申请日:2023-02-07
申请人: 华为技术有限公司
IPC分类号: G06T7/00 , G01N21/95 , G01N21/956 , H01L21/66 , G06V10/764 , G06V10/44
摘要: 本公开的实施例提供了一种确定检测机台的检测性能的方法及装置。该方法包括:确定在芯片制造过程中的导线的无缺陷图案;通过将多个不同尺寸的预定类型的缺陷分别加入到无缺陷图案中,生成与多个不同尺寸对应的多个带缺陷图案;基于无缺陷图案和多个带缺陷图案,生成目标图案;以及利用检测机台对包括目标图案的样本进行检测,以确定检测机台的检测性能。以此方式,本公开的实施例能够在目标图案中包括各种不同尺寸的预定类型的缺陷,以较低的成本生成能够反应真实芯片缺陷的样本,并且能够基于样本来确定检测机台的检测性能,进而有助于在利用检测机台进行芯片检测时的良率控制和成本控制。
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公开(公告)号:CN117995633A
公开(公告)日:2024-05-07
申请号:CN202211366898.5
申请日:2022-11-02
申请人: 华为技术有限公司
IPC分类号: H01J37/141 , H01J37/28
摘要: 本申请涉及光学技术领域,尤其涉及电子光学调试方法、装置和系统,该方案可以应用于需要调试入射电子束和电子收集系统的设备,如单束和多束扫描电子显微镜。在该方法中,使用带有调试图案的样品进行电子光学调试。基于该样品,可以根据第一探测器拍摄的第一图像对入射电子束进行调试,并且在确定入射电子束后,根据第二探测器拍摄的第二图像对第二探测器中的电子收集系统调试,从而将入射电子束和电子收集系统的调试解耦,进而避免了电子光学调试过程中更换样品的步骤,提高了调试的效率和精度。
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公开(公告)号:CN103703822A
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201380001555.1
申请日:2013-01-30
申请人: 华为技术有限公司
摘要: 本发明实施例公开了一种X2配置的自动删除方法、基站和网络系统,其中方法的实现包括:第一基站获取第二基站的邻区配置数据;第一基站依据所述第一基站的邻区配置数据以及所述第二基站的邻区配置数据,确定第一基站与第二基站之间是否存在邻区关系;若第一基站与第二基站之间不存在邻区关系,则删除所述第一基站与第二基站之间的X2接口对应的X2配置数据。以上方案实现了冗余的X2配置数据的自动删除,并不需要第一基站和第二基站共网管,实现分布式的X2配置数据管理,应用场景更广泛。
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