公开(公告)号：CN118974891A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202280094595.4

申请日：2022-04-12

申请人： 华为技术有限公司

发明人： 高瑞彦 ,  王海峰

IPC分类号： H01L21/304

摘要： 一种光学反射仪、检测装置、化学机械研磨设备和检测待检测样品表面的方法。光学反射仪包括：至少一个光源(10)、分光件(20)和第一反光件(30)；光源(10)用于产生初始光束(100)；分光件(20)位于初始光束(100)的光路中，用于将初始光束(100)分割为第一分束(101)和第二分束(102)；第一分束(101)照射在目标面，第一反光件(30)用于改变第二分束(102)的传播方向，以使第二分束(102)照射在目标面。通过分光件(20)，能够将光源(10)产生的初始光束(100)分割为两个沿不同方向进行传播的分束，从而能够减少光源(10)的使用数量，有利于降低光学反射仪的制作成本和体积，便于实现小型化设计。

公开(公告)号：CN118974538A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202280094635.5

申请日：2022-04-12

申请人： 华为技术有限公司

发明人： 高瑞彦 ,  王海峰

IPC分类号： G01N21/17 ,  G01N21/21 ,  G01J3/02

摘要： 本申请提供一种用于检测待测样品表面状态的装置及其检测方法、化学机械研磨设备，用于检测待测样品表面状态的装置包括光源组件、第一凹球面镜、第二凹球面镜以及光学传感器，其中光源组件从第一凹球面镜的第一入射焦点上发射多条出射角度不同的光线，待测样品位于第一凹球面镜的第一出射焦点，第二凹球面镜的第二入射焦点与第一出射焦点重合，光学传感器位于第二凹球面镜的第二出射焦点上。通过发射多条出射角度不同的光线，并通过第一凹球面镜入射至待测样品上，使得用于检测待测样品表面状态的光线具有多个入射角度，进而产生具有多个强度变化的反射光线，相较于单一入射角度的光线，可减小测量误差。