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公开(公告)号：CN114351110A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111614250.0
申请日：2021-12-27
Applicant: 华南理工大学
IPC: C23C16/26 , C23C16/56 , C23C16/515 , C23C14/06 , C23C14/02 , C23C14/16 , C23C14/32 , C23C14/35 , C23C14/58 , C23C28/00
Abstract: 本发明属于类金刚石薄膜制备的技术领域，公开了一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法。所述方法：将类金刚石涂层样品进行深冷处理，获得强化处理的类金刚石薄膜；所述类金刚石涂层样品中类金刚石涂层的sp3C体积含量为42％‑75％；所述深冷处理的条件：于‑100～‑196℃保温处理4～8h。本发明先制备sp3C体积含量为45‑75％的类金刚石涂层，然后通过深冷处理诱导涂层中部分sp2C转变为sp3C，从而提高涂层中的sp3C含量和涂层硬度。本发明的方法简单，通过深冷调控手段不仅无损且便于实现规模化量产。
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公开(公告)号：CN111910137A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010546871.9
申请日：2020-06-16
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种硬质合金表面生成Co3W的金刚石涂层预处理方法。该方法为采用金属清洗剂去除硬质合金试样表面油污，并在真空炉中低温长时间烘干，而后将洁净的硬质合金试样置于石英舟中，再将其置入管式炉的石英管中，抽真空至极限真空度后，通入氢气和氮气或者氩气，使石英管内气压达到常压，开启加热使温度升至700-1000℃，而后推开管式炉的加热箱体，使样品获得快速冷却，进而使硬质合金表面Co转变为高温稳定的Co3W。
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公开(公告)号：CN108172490B
公开(公告)日：2020-01-03
申请号：CN201711455918.5
申请日：2017-12-26
Applicant: 广州今泰科技股份有限公司 , 华南理工大学
IPC: H01J37/08
Abstract: 本发明涉及离子源设备技术领域，具体涉及了一种多用途灯丝气体离子源装置，包括第一离化腔室，第一离化腔室的一端设有第一进气口且第一离化腔室的另一端上设有第一逸出口，第一离化腔室的外侧壁上缠绕有第一线圈，第一离化腔室内设有灯丝组件，灯丝组件包括相对设置的灯丝和反射极板，反射极板位于灯丝和第一逸出口的中心线之间，灯丝和反射极之间为并联连接。本发明通过缠绕在第一离化腔室外的第一线圈以及与灯丝相对设置的反射极板，提高了气体离化效率，同时从灯丝发射出来的杂质原子会被反射极板和第一离化腔室捕获，避免杂质原子污染被加工工件。
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公开(公告)号：CN108103456B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201711455919.X
申请日：2017-12-26
Applicant: 华南理工大学 , 广州今泰科技股份有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明涉及离子源设备技术领域，具体涉及了一种阴极电弧装置，包括靶材以及下方安置的磁组件，磁组件包括永磁体和若干个线圈组件，靶材的正面为溅射面，含线圈组件的磁组件设置于靶材的背面下方，线圈组件包括若干个并列且交替设置的导磁块和绝缘块，导磁块上缠绕线圈，线圈的轴线穿过相邻的绝缘块，且线圈的轴线平行于靶材的溅射面。由于绝缘块处形成气隙，线圈和导磁块产生的磁场会在气隙处形成强漏磁，漏磁在平行于靶材溅射面的方向的磁场强度分量高，而交替设置的导磁块和绝缘块有利于保证靶材溅射面各点的磁场大小的一致性和均匀性。
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公开(公告)号：CN109943824A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910349739.6
申请日：2019-04-28
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明公开了一种高硬度导电的碳基薄膜的制备方法。该制备方法先将经过超声清洗后的导电金属工件置于真空镀膜装置的真空室中进行离子刻蚀活化；然后采用双极脉冲直流电源，依次通过Cr金属靶和WC靶，形成Cr-WC过渡层；在Cr-WC过渡层上制备含氢的非晶类金刚石涂层；在热处理装置中升温到430-600℃，保温，制得高硬度导电的碳基薄膜。本发明在DLC涂层中sp3C-C的含量高获得高硬度同时要降低其导电性，制得一种高附着力、高硬度度、导电率与石墨相当的类金刚石涂层/碳基薄膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104711512A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201510141916.3
申请日：2015-03-27
Applicant: 广州今泰科技股份有限公司 , 华南理工大学
IPC: C23C14/04
Abstract: 本发明公开了一种环保型物理气相沉积间色镀膜的方法，该方法将厚度为0.06‐0.15mm厚的耐高温有机物薄膜包覆在待镀基材上，根据间镀区域的空间形状、尺寸，勾勒到有机物上形成间镀区域的轮廓图案，然后从有机物布料上剪裁出该图案，完成间镀图案的转印；处理该转印图案，使其具有较强的与金属表面物理吸附力；将工件表面清洗烘干后，使用获得的耐高温有机物覆盖间镀区域；采用物理气相沉积方法在工件表面涂覆所需涂层；揭去覆盖在工件表面的有机物图案，完成间镀工作。本发明将耐高温化学稳定的有机物薄膜制成间镀图案贴附于工件的间镀区域，实施物理气相沉积涂覆后只需简单地撕离该有机薄膜，间镀实施过程不使用有机溶剂。
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公开(公告)号：CN114351110B
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202111614250.0
申请日：2021-12-27
Applicant: 华南理工大学
IPC: C23C16/26 , C23C16/56 , C23C16/515 , C23C14/06 , C23C14/02 , C23C14/16 , C23C14/32 , C23C14/35 , C23C14/58 , C23C28/00
Abstract: 本发明属于类金刚石薄膜制备的技术领域，公开了一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法。所述方法：将类金刚石涂层样品进行深冷处理，获得强化处理的类金刚石薄膜；所述类金刚石涂层样品中类金刚石涂层的sp3C体积含量为42％‑75％；所述深冷处理的条件：于‑100～‑196℃保温处理4～8h。本发明先制备sp3C体积含量为45‑75％的类金刚石涂层，然后通过深冷处理诱导涂层中部分sp2C转变为sp3C，从而提高涂层中的sp3C含量和涂层硬度。本发明的方法简单，通过深冷调控手段不仅无损且便于实现规模化量产。
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公开(公告)号：CN111041448B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202010014422.X
申请日：2020-01-07
Applicant: 汇专科技集团股份有限公司 , 华南理工大学 , 科益展智能装备有限公司广州分公司
Abstract: 本发明涉及一种含钴硬质合金表面制备金刚石涂层的方法及具有金刚石涂层的工模具，对样品表面进行喷砂、洁净处理，为超声研磨植晶阶段中金刚石微粒的高密度、均匀化以及生长的金刚石涂层的机械铆合“镶嵌”效应提供理想的基础，提高了植晶均匀性和“镶嵌”效应，选择高铝含量的三元氮化物涂层作为插入层，插入层高温稳定、不会与周围介质反应、对钴的固溶度几乎为零，插入层的热膨胀系数介于金刚石涂层和硬质合金基体之间，可有效地抑制硬质合金基体中的钴元素向外扩散，提高金刚石涂层形核的界面强度和金刚石涂层的质量，以有效提高金刚石涂层的膜基结合力及金刚石涂层自身的质量。
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公开(公告)号：CN111118441A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN202010014948.8
申请日：2020-01-07
Applicant: 汇专科技集团股份有限公司 , 华南理工大学 , 科益展智能装备有限公司广州分公司
Abstract: 本发明公开了一种硬质合金表面氮化处理的方法。这种处理方法包括以下步骤：1)硬质合金表面预处理：将含钴硬质合金进行表面除油处理，漂洗，干燥，待用；2)硬质合金置入真空系统：将预处理后的硬质合金放入含有辅助离子源的真空处理装置中，在离子源的辅助阳极上放置稀土金属源；启动装置抽真空，并加热升温；3)离子渗氮：往真空处理装置通入氩气，开启离子源获得等离子束，再通入含氮气体，开启偏压电源获得偏压电场，进行离子渗氮，得到表面氮化的硬质合金。本发明实现了钨钴类硬质合金材料表面层的Co快速高效地转化为高温稳定的钴氮化物，提高了硬质合金的表面硬度、降低了材料摩擦系数，大幅度地改善硬质合金工模具的使用性能。
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公开(公告)号：CN106244986B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201610643595.1
申请日：2016-08-08
Applicant: 珠海罗西尼表业有限公司 , 华南理工大学
Abstract: 本发明涉及一种功能梯度的类金刚石碳薄膜及其制备方法和制品。该功能梯度的类金刚石碳薄膜的制备方法包括：(1)通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在工件表面沉积金属基底层；(2)通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在所述金属基底层的表面沉积金属氮化物过渡层；(3)通过脉冲偏压离子束辅助磁控溅射在所述金属氮化物过渡层的表面沉积碳化钨梯度层；(4)通过脉冲偏压离子束辅助磁控溅射在所述碳化钨梯度层的表面沉积类金刚石碳装饰层。本发明提供的制备方法制得功能梯度的类金刚石碳薄膜不仅具有高光泽度、高界面结合强度、高表面硬度的优点，并且耐磨损、耐腐蚀、防刮花性能优良。
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