公开(公告)号：CN103898479B

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201410100743.6

申请日：2014-03-18

申请人： 华南理工大学

发明人： 汤勇 ,  黄云翔 ,  杨晓军 ,  曾海峰 ,  钟福回 ,  孙超卫

IPC分类号： C23C16/54 ,  C23C16/30 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 本发明涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，包括：将柔性的衬底平铺输送的输送机构，进行沉积反应的沉积箱，与沉积箱相接的溶液加热循环机构，洗刷衬底的滚筒洗刷机构，烘干衬底的烘干装置；所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。本发明还涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的方法，包括衬底展开、溶液配置、溶液加热、反应沉积、衬底的输、衬底的清洗、洁净的衬底的输送、表面烘干、衬底收起步骤。本发明具有结构简单、可连续化、批量化生产的优点，属于薄膜太阳能电池制造工艺技术领域。

公开(公告)号：CN103898479A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201410100743.6

申请日：2014-03-18

申请人： 华南理工大学

发明人： 汤勇 ,  黄云翔 ,  杨晓军 ,  曾海峰 ,  钟福回 ,  孙超卫

IPC分类号： C23C16/54 ,  C23C16/30 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 本发明涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，包括：将柔性的衬底平铺输送的输送机构，进行沉积反应的沉积箱，与沉积箱相接的溶液加热循环机构，洗刷衬底的滚筒洗刷机构，烘干衬底的烘干装置；所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。本发明还涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的方法，包括衬底展开、溶液配置、溶液加热、反应沉积、衬底的输、衬底的清洗、洁净的衬底的输送、表面烘干、衬底收起步骤。本发明具有结构简单、可连续化、批量化生产的优点，属于薄膜太阳能电池制造工艺技术领域。

公开(公告)号：CN203820886U

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201420122589.8

申请日：2014-03-18

申请人： 华南理工大学

发明人： 汤勇 ,  黄云翔 ,  杨晓军 ,  曾海峰 ,  钟福回 ,  孙超卫

IPC分类号： C23C16/54 ,  C23C16/30 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521

摘要： 本实用新型涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，包括：将柔性的衬底平铺输送的输送机构，进行沉积反应的沉积箱，与沉积箱相接的溶液加热循环机构，洗刷衬底的滚筒洗刷机构，烘干衬底的烘干装置；所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。本实用新型具有结构简单、可连续化、批量化生产的优点，属于薄膜太阳能电池制造工艺技术领域。