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公开(公告)号：CN103898479B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201410100743.6
申请日：2014-03-18
申请人： 华南理工大学
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，包括：将柔性的衬底平铺输送的输送机构，进行沉积反应的沉积箱，与沉积箱相接的溶液加热循环机构，洗刷衬底的滚筒洗刷机构，烘干衬底的烘干装置；所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。本发明还涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的方法，包括衬底展开、溶液配置、溶液加热、反应沉积、衬底的输、衬底的清洗、洁净的衬底的输送、表面烘干、衬底收起步骤。本发明具有结构简单、可连续化、批量化生产的优点，属于薄膜太阳能电池制造工艺技术领域。
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公开(公告)号：CN106229383A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610816436.7
申请日：2016-09-10
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/032
CPC分类号： Y02P70/521 , H01L31/0322
摘要： 本发明公开了一种镓元素均匀分布的铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其制备方法。该方法通过在硒化反应过程中引入等离子强化硒化刻蚀复合技术，利用等离子提高硒蒸汽活性的同时，也利用等离子对合金预制层进行刻蚀，去除了合金预制层中多余的铟，增大了合金预制层的表面积以利于活化硒蒸汽更好的扩散渗入，使得活化硒蒸汽与铜、铟和镓元素反应更充分，从而实现镓元素在薄膜中分布均匀。本发明制备的铜铟镓硒薄膜其成分中各元素特别是镓元素分布均匀；制备的铜铟镓硒薄膜太阳能电池转换效率大大提高。
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公开(公告)号：CN106057928A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610606518.9
申请日：2016-07-27
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： H01L31/0236 , H01L31/0392 , H01L31/0445 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/02366 , H01L31/03923 , H01L31/0445 , H01L31/18
摘要： 本发明公开了一种有效阻挡铁扩散的不锈钢柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其制备方法。该方法制备步骤为：在不锈钢柔性衬底上依次制备阻挡层、背电极、吸收层、缓冲层、本征氧化锌层、掺铝氧化锌层和上电极。在柔性衬底上溅射、沉积制得所述阻挡层。所述吸收层的制备：依次电沉积铜层、铟层和镓层得到铜铟镓金属预制层，在真空环境中进行退火热处理，得铜铟镓合金预制层；再在Ar和Se蒸汽氛围中进行硒化反应，得到不锈钢柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池吸收层。本发明方法能有效阻挡不锈钢衬底中有害元素铁的扩散，制得的不锈钢柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池结构简单，开路电压、填充因子和转换效率大大提高。
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公开(公告)号：CN106024930A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610606526.3
申请日：2016-07-27
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： H01L31/032 , H01L31/0749 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/18 , H01L31/0322 , H01L31/0749
摘要： 本发明公开了一种基于高质量均匀分布预制铜层的铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其制备方法。制备步骤为：在衬底上制备钼背电极并对钼背电极进行前期预处理，再在预处理后的钼背电极上依次制备吸收层、缓冲层、本征氧化锌层、掺铝氧化锌层和上电极。钼背电极的制备和前期预处理的步骤为：（1）利用溅射方法，在衬底上沉积钼背电极；（2）将沉积有钼背电极的衬底表面进行清洗，再用去离子水冲洗，氮气吹干；（3）将经步骤（2）处理过的衬底浸泡在腐蚀液中超声腐蚀，再用去离子水冲洗，氮气吹干。本发明制备的金属预制铜层表面平整、粗糙度小；制备的铜铟镓硒薄膜晶粒大小一致，分布均匀；制备的铜铟镓硒薄膜太阳能电池均匀性好、转换效率高。
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公开(公告)号：CN103898479A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410100743.6
申请日：2014-03-18
申请人： 华南理工大学
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的装置，包括：将柔性的衬底平铺输送的输送机构，进行沉积反应的沉积箱，与沉积箱相接的溶液加热循环机构，洗刷衬底的滚筒洗刷机构，烘干衬底的烘干装置；所述沉积箱、滚筒洗刷机构和烘干装置沿着衬底的输送方向依次设置。本发明还涉及一种卷对卷高效制备硫化镉薄膜的方法，包括衬底展开、溶液配置、溶液加热、反应沉积、衬底的输、衬底的清洗、洁净的衬底的输送、表面烘干、衬底收起步骤。本发明具有结构简单、可连续化、批量化生产的优点，属于薄膜太阳能电池制造工艺技术领域。
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公开(公告)号：CN106229383B
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201610816436.7
申请日：2016-09-10
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/032
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本发明公开了一种镓元素均匀分布的铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其制备方法。该方法通过在硒化反应过程中引入等离子强化硒化刻蚀复合技术，利用等离子提高硒蒸汽活性的同时，也利用等离子对合金预制层进行刻蚀，去除了合金预制层中多余的铟，增大了合金预制层的表面积以利于活化硒蒸汽更好的扩散渗入，使得活化硒蒸汽与铜、铟和镓元素反应更充分，从而实现镓元素在薄膜中分布均匀。本发明制备的铜铟镓硒薄膜其成分中各元素特别是镓元素分布均匀；制备的铜铟镓硒薄膜太阳能电池转换效率大大提高。
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公开(公告)号：CN206076275U
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201621048854.8
申请日：2016-09-10
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 本实用新型公开了镓元素均匀分布的铜铟镓硒薄膜吸收层制备装置。装置包括位于硒化炉腔内的样品托架、样品加热台、分流板、坩埚、坩埚加热器和硒颗粒；铜铟镓合金预制层样品的两端放置在样品托架上，样品加热台位于铜铟镓合金预制层样品上方，样品托架下方设有坩埚和坩埚加热器，坩埚内装有所述硒颗粒，坩埚上方开口设有供硒蒸汽穿过的分流板，分流板位于铜铟镓合金预制层样品下方；硒化炉腔的一侧壁设有抽气系统，与抽气系统相对的硒化炉腔另一侧壁设有进气系统。本实用新型制备的铜铟镓硒薄膜其成分中各元素特别是镓元素分布均匀；制备的铜铟镓硒薄膜太阳能电池转换效率大大提高。
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公开(公告)号：CN206271716U
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201620807033.1
申请日：2016-07-27
申请人： 华南理工大学
IPC分类号： H01L31/032 , H01L31/0749 , H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 本实用新型公开了一种基于高质量均匀分布预制铜层的铜铟镓硒薄膜太阳能电池，包括在衬底上制备的钼背电极，在钼背电极上依次制备的铜铟镓硒吸收层、CdS缓冲层、本征氧化锌层、掺铝氧化锌层和上电极。本实用新型制备制备的铜铟镓硒薄膜太阳能电池均匀性好、转换效率高。
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