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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106637103B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201610890808.0
申请日：2016-10-12
Applicant: 南京华东电子信息科技股份有限公司 , 南京中电熊猫平板显示科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种IGZO成膜设备的阳极稳定装置，包括设置在阳极周边的隔离组件，所述隔离组件具有供电子导出阳极的通道。本发明在IGZO成膜的阳极周边增设隔离组件，隔离组件能有效阻挡靶材分子溅射到阳极上，故阳极表面维持高电位，可有效快速的导出电子，整个空间电子分布更加均匀，降低电子聚集所带来的热效应，延长阳极使用寿命，维持阳极稳定，提高设备稼动率；同时隔离组件将阳极的底部全部遮盖，能够防止电子聚集在底部；此外，阳极通过隔离组件避免了IGZO绝缘膜沉积，整个阳极的电场均匀，不会造成因上下端膜层较薄所引起的中间电场弱两端电场强的问题，成膜速率稳定。
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公开(公告)号：CN107289454A
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201710532447.7
申请日：2017-07-03
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种尾气处理监控方法，包括步骤：主设备检测其当前的设备状态，并根据当前设备状态生成对应的状态信号，并发送所述状态信号至尾气处理设备；尾气处理设备接收所述状态信号，并根据所述状态信号启动相对应的处理模式；尾气处理设备根据对应的所述处理模式将用于处理尾气的物料的用量调整为对应的预设值；尾气处理设备根据用量为所述预设值的物料对尾气进行处理。本发明提供一种尾气处理监控方法及系统，根据主设备的不同设备状态实现节能处理模式和普通处理模式的切换，来实现更好的控制和节约资源的目的。
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公开(公告)号：CN107289454B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201710532447.7
申请日：2017-07-03
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种尾气处理监控方法，包括步骤：主设备检测其当前的设备状态，并根据当前设备状态生成对应的状态信号，并发送所述状态信号至尾气处理设备；尾气处理设备接收所述状态信号，并根据所述状态信号启动相对应的处理模式；尾气处理设备根据对应的所述处理模式将用于处理尾气的物料的用量调整为对应的预设值；尾气处理设备根据用量为所述预设值的物料对尾气进行处理。本发明提供一种尾气处理监控方法及系统，根据主设备的不同设备状态实现节能处理模式和普通处理模式的切换，来实现更好的控制和节约资源的目的。
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公开(公告)号：CN106637103A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610890808.0
申请日：2016-10-12
Applicant: 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种IGZO成膜设备的阳极稳定装置，包括设置在阳极周边的隔离组件，所述隔离组件具有供电子导出阳极的通道。本发明在IGZO成膜的阳极周边增设隔离组件，隔离组件能有效阻挡靶材分子溅射到阳极上，故阳极表面维持高电位，可有效快速的导出电子，整个空间电子分布更加均匀，降低电子聚集所带来的热效应，延长阳极使用寿命，维持阳极稳定，提高设备稼动率；同时隔离组件将阳极的底部全部遮盖，能够防止电子聚集在底部；此外，阳极通过隔离组件避免了IGZO绝缘膜沉积，整个阳极的电场均匀，不会造成因上下端膜层较薄所引起的中间电场弱两端电场强的问题，成膜速率稳定。
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公开(公告)号：CN207418854U
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201721379990.X
申请日：2017-10-25
Applicant: 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 , 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 , 南京华东电子信息科技股份有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种基板夹具，包括：支架、活动夹、将活动夹连接在支架上的固定件、以及固定在所述支架上的两个固定夹，活动夹位于两个固定夹之间；活动夹与支架活动连接，固定夹与支架固定连接，活动夹上设置挡块，固定夹上不设置挡块，该夹具可以让基板在进行溅镀的工艺时，由于溅击震动，基板弯曲，以及基板的运输过程中，应力释放等过程中，固定夹与活动夹之间不会产生剪切作用，从而解决了基板因为活动夹和固定夹的剪切造成的破片问题。
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