单金属波导GaN基太赫兹量子级联激光器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119602083A

    公开(公告)日:2025-03-11

    申请号:CN202411521076.9

    申请日:2024-10-29

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种单金属波导GaN基太赫兹量子级联激光器,其特征在于其结构最底层为衬底,其上依次设置有n型高掺杂的n++层、QCL有源区、n型掺杂层,在n型高掺杂的n++层上设有阴极电极层,在n型掺杂层上设有阳极电极层,其中所述衬底为GaN衬底、AlN衬底或SiC衬底。还公开了其制备方法。本发明基于对THz频率下GaN的折射率相关参数系统研究的基础上,分析了单金属波导结构参数对QCL光场限制因子和自由载流子吸收,设计了不同衬底的高光场限制因子低损耗的QCL。此外,本发明设计的有源区结构,在10K时增益高达88/cm,在280K时高达34/cm,且对应的波长为6.6THz,实现了传统GaAs体系无法做到的频率。

Patent Agency Ranking