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公开(公告)号:CN117832166A
公开(公告)日:2024-04-05
申请号:CN202311538767.5
申请日:2023-11-17
Applicant: 南京大学
IPC: H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种用于电路连接的多形貌三折空气桥的制作方法,在衬底上旋涂光刻胶;进行灰度曝光,桥墩部分曝光剂量最大,桥面上升部分曝光剂量按照预设曲线变化,桥面水平部分与空气桥外侧不进行曝光;曝光显影完成,镀上导电层后按照设计的保护层版图进行保护层曝光,保护层的版图可以根据需要设计成十字型,Y型等等,设计水平桥面和上升桥面的大小比例可以保证桥的结构的稳定,平行的桥面作为公用部分链接各个桥墩;曝光显影后利用刻蚀法去除不需要的导电材料:最后进行光刻胶的剥离达到需要的空气桥。本发明提高了空气桥版图设计的灵活性和实用性,使得空气桥的设计可以适配更多更复杂的电路结构。
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公开(公告)号:CN119695616A
公开(公告)日:2025-03-25
申请号:CN202411796988.7
申请日:2024-12-05
Abstract: 本发明公开了一种基于双模自激振荡效应的纠缠微波源,而且其具有频率可调性、纠缠程度鲁棒性和功能多样性等特性。该器件包括输入输出端口、二分之一共面波导谐振器、共面波导传输线、输入输出电容和两个约瑟夫森结构成的超导量子干涉仪,以及交、直流偏置。因为超导量子干涉仪嵌入在二分之一共面波导谐振器的非中心位置,导致该器件具有共模和差模两种频率不同的模式。在双模自激振荡工作模式下,该器件能够产生连续变量相位纠缠的微波光,且因超导量子干涉仪的存在使得该器件具有频率可调谐特性,又因双模自激振荡的稳定性使本器件纠缠程度具有鲁棒特性。本发明设计了一种基于双模自激振荡效应的、频率可调谐、纠缠程度鲁棒的纠缠微波源,该器件在量子计算和量子照明与传感领域中具有重要应用潜力。
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公开(公告)号:CN117979815A
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN202410167219.4
申请日:2024-02-06
Abstract: 本发明公开了一种基于铌膜缓冲层的α相钽膜超导量子比特,包括传输线、四分之一波长读出谐振器、超导量子比特,其中:四分之一波长读出谐振器一端与传输线耦合,另一端与超导量子比特耦合;超导量子比特由两个电容极板和约瑟夫森结构成;通过磁控溅射设备,在蓝宝石基底上常温生长铌膜作为缓冲层,紧接着在已有缓冲层铌膜的蓝宝石基底上继续常温生长钽膜,得到有铌膜缓冲层的α相钽膜;传输线、四分之一波长读出谐振器、超导量子比特的两个电容极板光刻在有铌膜缓冲层的α相钽膜上。本发明有效降低了超导量子比特制备成本,缩短了制备周期,提高了良品率,提升了超导量子比特性能,具有广泛的应用领域,包括但不限于量子计算、量子通信等。
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公开(公告)号:CN114665836B
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN202210491629.5
申请日:2022-05-07
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于双节四分之一波长变换线的阻抗匹配约瑟夫森参量放大器,包括输入输出端口、阻抗匹配传输线、非线性LC谐振器和直流偏置线,其中阻抗匹配传输线由两段的四分之一波长传输线构成,采用共面波导传输线形式,共面波导中心导体宽度与缝隙宽度根据所需阻抗值进行调整。本发明有效降低了阻抗匹配部分结构设计复杂度,实现非线性谐振器与外部传输线的阻抗匹配,总的谐振频率在较大范围内连续可调,器件性能优异可靠。
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公开(公告)号:CN119519633A
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202411576520.7
申请日:2024-11-06
Abstract: 本发明公开了一种基于多节四分之一波长阻抗变换线的约瑟夫森参量放大器,包括放大器的输入输出端口、多节四分之一波长阻抗变换线、超导约瑟夫森结非线性谐振器以及其对应的磁通偏置线,其中多节四分之一波长阻抗变换线采用四节四分之一波长传输线构成,均采用平面共面波导电路制备。另外,该约瑟夫森参量放大器采用铝酸镧基底进行制备,与常见的高阻硅或者蓝宝石基底相比,其具有更高的相对介电常数,使得提高制备工艺的可靠性。本发明采用了多节四分之一波长阻抗变换线实现参量放大器与外部环境的阻抗匹配,同时创新性地采用铝酸镧基底来制备参量放大器,有效提高了制备工艺的可靠性与成品率,制备的样品在较大频率范围内连续可调且增益、带宽性能优异。
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公开(公告)号:CN114665836A
公开(公告)日:2022-06-24
申请号:CN202210491629.5
申请日:2022-05-07
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种基于双节四分之一波长变换线的阻抗匹配约瑟夫森参量放大器,包括输入输出端口、阻抗匹配传输线、非线性LC谐振器和直流偏置线,其中阻抗匹配传输线由两段的四分之一波长传输线构成,采用共面波导传输线形式,共面波导中心导体宽度与缝隙宽度根据所需阻抗值进行调整。本发明有效降低了阻抗匹配部分结构设计复杂度,实现非线性谐振器与外部传输线的阻抗匹配,总的谐振频率在较大范围内连续可调,器件性能优异可靠。
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