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公开(公告)号：CN1168981A
公开(公告)日：1997-12-31
申请号：CN96116970.2
申请日：1996-06-19
Applicant: 南京大学
Inventor： 骆桂蓬 , 祝世宁 , 刘治国 , 朱永元 , 葛传珍 , 陆亚林 , 闵乃本
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种在紫外吸收材料表面制作光栅的方法，它是用准分子激光脉冲的干涉条纹直接作用于紫外吸收材料表面，使表面刻蚀出周期结构，制作出光栅。本方法制作的光栅，原子力显微镜表明，有波纹形的表面，有良好的周期性，刻蚀深度均匀，刻槽光滑，用本方法便于工业化制作光栅滤波器、光栅耦合器、光栅透镜或分布反馈Bragg光栅。
