构筑二维有序分布硅量子点图形化纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN1242454C

    公开(公告)日:2006-02-15

    申请号:CN03131685.9

    申请日:2003-06-06

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: B82Y30/00

    Abstract: 构筑二维有序分布硅量子点图形化纳米结构的方法,超薄非晶硅(a-Si)薄膜或a-SiNX:H/a-Si:H/a-SiNX:H结构薄膜上先制作移相光栅模版,然后以激光干涉晶化:激光束经二维移相光栅模版到达a-Si薄膜或a-SiNX:H/a-Si:H/a-SiNX:H结构薄膜表面上形成能量密度二维周期分布的束斑,使a-Si:H薄膜实现定域晶化,即在薄膜内形成二维空间有序分布(图形化)的纳米硅量子点阵列。本发明图形化量子点薄膜可批量生产,能够有效地控制硅量子点的形成与尺寸。

    构筑二维有序分布硅量子点图形化纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN1484278A

    公开(公告)日:2004-03-24

    申请号:CN03131685.9

    申请日:2003-06-06

    Applicant: 南京大学

    CPC classification number: B82Y30/00

    Abstract: 构筑二维有序分布硅量子点图形化纳米结构的方法,超薄非晶硅(a-Si)薄膜或a-SiNx∶H/a-Si∶H/a-SiNx∶H结构薄膜上先制作移相光栅模版,然后以激光干涉晶化:激光束经二维移相光栅模版到达a-Si薄膜或a-SiNx∶H/a-Si∶H/a-SiNx∶H结构薄膜表面上形成能量密度二维周期分布的束斑,使a-Si∶H薄膜实现定域晶化,即在薄膜内形成二维空间有序分布(图形化)的纳米硅量子点阵列。本发明图形化量子点薄膜可批量生产,能够有效地控制硅量子点的形成与尺寸。

Patent Agency Ranking