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公开(公告)号：CN222567260U
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202323632664.3
申请日：2023-12-29
Applicant: 南京工程学院
IPC: B01D53/00 , C23C16/455 , B01D53/18 , B01D53/26
Abstract: 本实用新型实施例公开了一种原子层沉积的反应残余物处理装置，涉及微纳米制造技术领域，本方案中的装置的组成部分包括：金属源和硫化氢源连接反应腔体，反应腔体上安装有PT压力表；反应腔体的输出通过多线路系统进行处理，各个处理线路各自通过输气管连接反应腔体。本方案针对原子层沉积的反应残余物，经过双处理线路进行绿色回收处理，避免了环境污染，同时能量回收利用，实现节能目的且处理线路的实现方式的相对简单，也便于大规模、产业化生产应用。
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