一种基于激光选区熔化封装高温电子元器件的工艺方法

    公开(公告)号:CN116169036A

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202310188250.1

    申请日:2023-03-02

    Abstract: 本发明公开了一种基于激光选区熔化封装高温电子元器件的工艺方法,包括:准备陶瓷材质的封装上模和封装下模;固定封装下模;将元器件固定于封装下模中心位置;将封装上模相契合于封装下模得到封装打印区域,确定封装路径并启动红光预打印,使红光扫描区域与封装打印区域重合;将预制的陶瓷浆料滴在封装模具上,控制刮刀将浆料铺平,加热浆料并控制激光按照封装路径逐层打印,得到封装体;如果气密性不好,重复进行预打印和打印封装并再次进行气密性检测,直至封装体气密性检测良好。具有封装体尺寸限制小、无需将封装体长时间置于高温、对封装结构件的装配精度不苛刻、精准封装、直接打印密封层直接封装成型、构型精准多样、产品定制化的优点。

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