光学滤光片高精度透过率的测试系统及测试方法

    公开(公告)号:CN105588708A

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201510941431.2

    申请日:2015-12-16

    IPC分类号: G01M11/02

    CPC分类号: G01M11/02

    摘要: 本发明公开了一种光学滤光片高精度透过率的测试系统及测试方法,系统包括激光泵浦宽带光源、光调制器、双级联单色仪系统、光准直系统、测试暗箱、紫外可见光电倍增管、高压电源模块、光电信号处理模块、锁相放大器和工控计算机;测试时,光源产生的光经光调制器的调制,入射到双级联单色仪系统中产生高质量的单色光;经准直系统将光栅单色仪输出的光转变为准平行、小束径的单色光入射至被测滤光片;经滤光片衰减后的光入射至光电倍增管产生放大后的光电流信号;再在信号处理模块中对光电倍增管输出的光电流信号处理后送入锁相放大器进行相敏检测。本发明使用光调制器和锁相放大器的工作模式,可以高精度地测出光学滤光片透过率。