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公开(公告)号：CN118746422A
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202410974449.1
申请日：2024-07-19
Applicant: 南京理工大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于白光动态干涉的拼接镜共相检测方法，搭建白光泰曼‑格林动态干涉仪，使用精密电动位移台驱动参考镜对拼接镜进行扫描并记录各扫描位置四步移相干涉图，共相检测过程主要分为粗共相检测和精共相检测两个阶段，粗共相检测阶段通过消色差偏振移相方法获得不同扫描位置处对比度曲线，突破了干涉级次模糊对共相误差检测范围的限制；精共相检测阶段使用基于Zernike拟合分析的高精度拼接镜平移误差计算模型，以纳米级精度精确反馈共相误差。本发明在白光扫描干涉测量方法基础上进一步实现了消色散动态干涉测量，检测效率高，可实现大范围高精度检测，在拼接镜共相检测领域具有广阔应用前景。
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