公开(公告)号：CN118746422A

公开(公告)日：2024-10-08

申请号：CN202410974449.1

申请日：2024-07-19

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 朱日宏 ,  邓嘉信 ,  芮九多 ,  韩志刚 ,  张嘉博 ,  刘明

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明公开了一种基于白光动态干涉的拼接镜共相检测方法，搭建白光泰曼‑格林动态干涉仪，使用精密电动位移台驱动参考镜对拼接镜进行扫描并记录各扫描位置四步移相干涉图，共相检测过程主要分为粗共相检测和精共相检测两个阶段，粗共相检测阶段通过消色差偏振移相方法获得不同扫描位置处对比度曲线，突破了干涉级次模糊对共相误差检测范围的限制；精共相检测阶段使用基于Zernike拟合分析的高精度拼接镜平移误差计算模型，以纳米级精度精确反馈共相误差。本发明在白光扫描干涉测量方法基础上进一步实现了消色散动态干涉测量，检测效率高，可实现大范围高精度检测，在拼接镜共相检测领域具有广阔应用前景。

公开(公告)号：CN115112045B

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202210722227.1

申请日：2022-06-24

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 朱日宏 ,  芮九多 ,  韩志刚 ,  陈磊 ,  李方欣 ,  巫智勋 ,  陈佳乐

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G01B9/02001 ,  G01B9/02015

Abstract: 本发明公开了一种基于全光纤正交偏振光程匹配短相干光源的干涉测量方法，使用短相干激光器、第一保偏光纤、光纤偏振分束器、第二保偏光纤、光纤可调衰减器、第三保偏光纤、第四保偏光纤、光纤延迟线、第五保偏光纤、光纤偏振合束器、第六保偏光纤构成全光纤正交偏振光程匹配短相干光源；针对短相干光干涉特性，使用光纤延迟线补偿干涉仪中参考光和测试光间光程差，实现光程匹配；使用光纤可调衰减器调节两正交偏振光间光强差，实现光强匹配，以获取清晰、稳定的干涉条纹，完成短相干干涉测量。与现有方法相比，本发明提出的方法在保障干涉条纹稳定性的同时，提高了短相干干涉测量的装置集成度、简易性和抗干扰能力，更适宜于产业化。

公开(公告)号：CN116222426A

公开(公告)日：2023-06-06

申请号：CN202310222112.0

申请日：2023-03-09

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 李俊博 ,  陈佳乐 ,  韩志刚 ,  朱日宏 ,  李方欣 ,  赵鑫洋 ,  芮九多 ,  杨振营

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于相干可控激光的多表面形貌测试方法，使用宽带白噪声源、滤波器、可调射频衰减器、射频放大器、直流驱动电源、偏置器模块和半导体激光器构成相干可控激光光源；针对平行平板类光学元件多表面干涉特性，使用宽带白噪声电流调制半导体激光器获得高旁瓣抑制比的短相干光，避免多表面干涉条纹串扰；使用可调射频衰减器调节白噪声信号强度，实现自长相干到短相干的相干长度可控，逐步缩短干涉条纹存在区间，快速定位干涉测量零光程差位置，完成多表面干涉元件形貌的测量。与现有方法相比，本发明提出的方法在增加了零光程差位置定位速度的同时，提高了多表面形貌测试的测量精度、装置集成度和简易性，更适宜于产业化。

公开(公告)号：CN115112045A

公开(公告)日：2022-09-27

申请号：CN202210722227.1

申请日：2022-06-24

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 朱日宏 ,  芮九多 ,  韩志刚 ,  陈磊 ,  李方欣 ,  巫智勋 ,  陈佳乐

IPC: G01B11/24 ,  G01B9/02 ,  G01B9/02001 ,  G01B9/02015

Abstract: 本发明公开了一种基于全光纤正交偏振光程匹配短相干光源的干涉测量方法，使用短相干激光器、第一保偏光纤、光纤偏振分束器、第二保偏光纤、光纤可调衰减器、第三保偏光纤、第四保偏光纤、光纤延迟线、第五保偏光纤、光纤偏振合束器、第六保偏光纤构成全光纤正交偏振光程匹配短相干光源；针对短相干光干涉特性，使用光纤延迟线补偿干涉仪中参考光和测试光间光程差，实现光程匹配；使用光纤可调衰减器调节两正交偏振光间光强差，实现光强匹配，以获取清晰、稳定的干涉条纹，完成短相干干涉测量。与现有方法相比，本发明提出的方法在保障干涉条纹稳定性的同时，提高了短相干干涉测量的装置集成度、简易性和抗干扰能力，更适宜于产业化。