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公开(公告)号：CN115597484A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211174623.1
申请日：2022-09-26
Applicant: 南京理工大学(CN)
IPC: G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种基于多球随机的球面参考镜校正方法，该方法为：首先搭建随机球测量平台；然后从多个随机球中随机选取小球固定在底座位置，开启干涉仪，调整球面参考镜与随机球相对位置，使球面参考镜与随机球发生干涉，测量一次数据；接着取下随机球，重复进行多组随机球测量，得到多组随机球测量结果，对多次测量结果进行加权平均，加权平均后的结果即为球面参考镜的校正结果；最后利用Zernike多项式对球面参考镜校正结果进行像差分析。本发明避免了球面参考镜校正过程中随机球测量区域的重叠，减少了测量结果相干性，并且提高了测量结果精度，测量平台结构简单，易于操作。
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