公开(公告)号：CN110196105A

公开(公告)日：2019-09-03

申请号：CN201910384304.5

申请日：2019-05-09

申请人： 南京理工大学紫金学院

发明人： 单小琴 ,  韩志刚 ,  孟令强 ,  陈姝君 ,  周广丽 ,  曹芳 ,  王艳

IPC分类号： G01J9/02

摘要： 本发明公开了一种基于后向反射器剪切干涉的准直波前测量方法,该方法中待测准直波前分别经过楔形平板的前后两个表面反射，通过后向反射器返回后在CCD上形成剪切干涉条纹。采用四步相移法求解干涉条纹的相位分布，相位步进量定为 设定可调谐激光器的波长步进以实现移相量的标定。采集四幅相位间隔为π/2的干涉图，得到剪切干涉条纹的光程差分布，根据剪切量的大小分别采用积分法或待定系数法测量准直波前。本发明简化了传统测量准直波前的横向剪切干涉装置，提高了波面测量精度，特别适合于测量波长调谐系统的出射波前。

公开(公告)号：CN110196105B

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN201910384304.5

申请日：2019-05-09

申请人： 南京理工大学紫金学院

发明人： 单小琴 ,  韩志刚 ,  孟令强 ,  陈姝君 ,  周广丽 ,  曹芳 ,  王艳

IPC分类号： G01J9/02

摘要： 本发明公开了一种基于后向反射器剪切干涉的准直波前测量方法,该方法中待测准直波前分别经过楔形平板的前后两个表面反射，通过后向反射器返回后在CCD上形成剪切干涉条纹。采用四步相移法求解干涉条纹的相位分布，相位步进量定为设定可调谐激光器的波长步进以实现移相量的标定。采集四幅相位间隔为π/2的干涉图，得到剪切干涉条纹的光程差分布，根据剪切量的大小分别采用积分法或待定系数法测量准直波前。本发明简化了传统测量准直波前的横向剪切干涉装置，提高了波面测量精度，特别适合于测量波长调谐系统的出射波前。