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公开(公告)号：CN1420943A
公开(公告)日：2003-05-28
申请号：CN00817926.3
申请日：2000-12-19
申请人： 南壁技术股份有限公司
发明人： F·E·伍达得
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/32 , B32B17/00 , B32B18/00 , B32B3/00 , B32B7/00 , B32B7/02 , B32B19/00 , B32B9/00
CPC分类号： C23C14/086 , B32B17/10174 , G02B1/113 , H01J29/896
摘要： 形成一种包括中折射率材料、高折射率材料、及低折射率材料之连续层的多层抗反射涂层。中折射率层经氢化，以将材料的折射率调整至低于1.99，及提高透射的清晰度。氢原子浓度为至少7％较佳，超过9％更佳，及超过18％最佳。此三层结合形成三层抗反射涂层，但可于具有更多或更少层数的抗反射涂层中使用氢化。在使用时，中折射率层为最靠近需要抗反射的基材。中折射率层为由氧化铟、氧化锡或氧化锌，或其中铟、锡或锌为主成份的合金的氧化物所形成较佳。
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公开(公告)号：CN1214130C
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN00817926.3
申请日：2000-12-19
申请人： 南壁技术股份有限公司
发明人： F·E·伍达得
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/32 , B32B17/00 , B32B18/00 , B32B3/00 , B32B7/00 , B32B7/02 , B32B19/00 , B32B9/00
CPC分类号： C23C14/086 , B32B17/10174 , G02B1/113 , H01J29/896
摘要： 形成一种包括第一折射率材料、第二折射率材料、及第三折射率材料之连续层的多层抗反射涂层。第一折射率层经氢化，以将材料的折射率调整至低于1.99，及提高透射的清晰度。氢原子浓度为至少7%较佳，超过9%更佳，及超过18%最佳。此三层结合形成三层抗反射涂层，但可于具有更多或更少层数的抗反射涂层中使用氢化。在使用时，第一折射率层为最靠近需要抗反射的基材。第一折射率层为由氧化铟、氧化锡或氧化锌，或其中铟、锡或锌为主成份的合金的氧化物所形成较佳。
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公开(公告)号：CN1325496A
公开(公告)日：2001-12-05
申请号：CN99813054.0
申请日：1999-10-28
申请人： 南壁技术股份有限公司 , GMX同仁私人有限公司
CPC分类号： B32B17/10018 , G02B5/208
摘要： 阳光控制元件(11)利用薄层的组合,包括隔开的氮化钛薄层(16和18),选择地透射比近红外光能量高的可见光的百分比,并具有低的可见光反射率。将氮化钛薄层隔开一个距离,该距离捉进有关可见光发生的相长和相消干的光学退耦。在实施例中,该氮化钛薄层被层状粘合剂(20)所隔开在波长为550nm处的透射率对在波长为1500nm处的透射度之比至少为1.25。各个氮化钛是溅射沉积的。采取了防备以保证各个薄层不会变得太金属性,并且保证过剩的氧不会结合进薄层,因此,控制了氮的流率和线速度。采用大功率和最小可接受的氮流,溅射在块的速率下发生,使衬底污染减到最小。
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公开(公告)号：CN1688904A
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN03822436.4
申请日：2003-02-18
申请人： 南壁技术股份有限公司 , 胡伯光学国际私人有限公司
CPC分类号： B32B15/043 , B32B15/08 , B32B17/10018 , B32B17/10174 , B32B27/36 , B32B2311/18 , B32B2311/22 , B32B2367/00 , C03C17/42 , C23C14/562 , Y10S359/90
摘要： 一种以一氮化钛为主之光学涂层，通过在一氮化钛层(18)与基材(12)之间提供一抗损基底层(16)提升了该涂层之结构稳定性。对用于防晒的光学涂层来说，一氮化钛层的选择主要获得所需的光学特性为目的，抗损层厚度的选择主要以获得所需的机械特性。所述抗损层由灰金属形成，以镍铬为佳。灰金属层降低了一氮化钛层龟裂的可能性。对基材进行等离子体预辉光(88)和/或在基材上将涂以光学涂层的那面上涂以增滑剂(14)进一步降低了光学涂层龟裂和形成裂纹的倾向。
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公开(公告)号：CN1125995C
公开(公告)日：2003-10-29
申请号：CN99813054.0
申请日：1999-10-28
申请人： 南壁技术股份有限公司 , 格罗麦崔克斯私人控股有限公司
CPC分类号： B32B17/10018 , G02B5/208
摘要： 阳光控制元件(11)利用薄层的组合，包括隔开的氮化钛薄层(16和18)，选择地透射比近红外光能量高的可见光的百分比，并具有低的可见光反射率。将氮化钛薄层隔开一个距离，该距离捉进有关可见光发生的相长和相消干的光学退耦。在实施例中，该氮化钛薄层被层状粘合剂(20)所隔开在波长为550nm处的透射率对在波长为1500nm处的透射度之比至少为1.25。各个氮化钛是溅射沉积的。采取了防备以保证各个薄层不会变得太金属性，并且保证过剩的氧不会结合进薄层，因此，控制了氮的流率和线速度。采用大功率和最小可接受的氮流，溅射在块的速率下发生，使衬底污染减到最小。
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