公开(公告)号：CN101892464A

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：CN201010202098.0

申请日：2010-06-18

申请人： 南开大学

发明人： 陈新亮 ,  耿新华 ,  林泉 ,  倪牮 ,  张德坤 ,  张建军 ,  赵颖

IPC分类号： C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  H01L31/0336

摘要： 一种柔性衬底绒面结构ZnO薄膜，采用金属有机化学气相沉积技术制备，以聚乙烯对苯二甲酯(PET)为柔性衬底，以二乙基锌和水为源材料，硼烷为掺杂气体，生长B掺杂ZnO透明导电薄膜，结构为PET/MOCVD-ZnO；将该薄膜应用于pin型a-Si薄膜太阳电池和a-Si/a-Si叠层薄膜太阳电池，其结构分别是PET/ZnO/pina-Si/Al和PET/ZnO/pin a-Si/pin a-Si/Al。本发明的优点是：柔性衬底PET材料价格低廉且具有高透过率特性，便于大面积生产推广；MOCVD技术可实现低温生长薄膜；获得ZnO薄膜可直接形成绒面结构，有利于光散射；应用于薄膜太阳电池，光电转换效率高。