一种超长定向α相氮化硅纤维阵列的生产装置及其制备方法

    公开(公告)号:CN115569610A

    公开(公告)日:2023-01-06

    申请号:CN202211186424.2

    申请日:2022-09-27

    摘要: 本发明公开了一种超长定向α相氮化硅纤维阵列的生产装置及其制备方法,装置包括反应匣钵和高温合成炉;所述反应匣钵由氮化硅基板、陶瓷挡板和陶瓷盖板组成;所述高温合成炉为真空高温炉,其腔室排布有抽真空口、进气口、出气口、紧急泄压口以及真空压力表。利用这种装置,在没有任何金属或金属催化盐的条件下,以氨气和四卤化硅为源气体,在高温下进行反应,制备超长定向α相氮化硅纤维阵列。本发明制备装置简单,由氮化硅基板、陶瓷挡板和中心带圆孔的陶瓷盖板组成的匣钵为氮化硅纤维提供了生长衬底,通过堆叠匣钵,可以实现氮化硅纤维阵列的规模化制备。本发明无需任何金属及金属盐催化剂即可制备超长α相氮化硅纤维阵列,无金属杂质存在。

    一种基于光伏硅切割锯屑制备β相氮化硅的方法

    公开(公告)号:CN118004979A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202410116645.5

    申请日:2024-01-27

    IPC分类号: C01B21/068

    摘要: 本发明提供了一种基于光伏硅切割锯屑制备β相氮化硅的方法,涉及非氧化陶瓷材料制备技术领域。本发明提供的方法包括以下步骤:将光伏硅切割锯屑置于混合酸液酸洗2.5‑3.5h后,洗涤干燥制得锯屑原料;其中,所述锯屑原料中金属杂质小于10ppm,氧含量小于2%;将锯屑原料在200‑300℃的氮气气氛中热处理2‑5h后,将锯屑原料在氮气流量450‑550mL/min、温度1475‑1485℃的环境中保温1‑5h热爆氮化后,随炉冷却制得氮化硅样品;刮除所述氮化硅样品表面1.5‑2.5mm的疏松层后破碎,将破碎产物浸泡于氢氟酸液中酸洗10‑30min后,洗涤干燥制得β相氮化硅;所述β相氮化硅中β相含量大于95%,氧含量小于1%。本发明能够对光伏硅锯屑进行高值回收,并且对β相氮化硅的合成工艺简单,成本低廉适合大规模的工业化生产。