公开(公告)号：CN102378908A

公开(公告)日：2012-03-14

申请号：CN200980138108.4

申请日：2009-09-22

申请人： 卡尔梅德有限公司

发明人： E·M·迪法布里齐奥 ,  F·德安格利斯 ,  G·达斯 ,  F·梅卡里尼 ,  P·坎德洛罗 ,  C·利贝拉尔

IPC分类号： G01N21/65 ,  G02B6/122

CPC分类号： G02B6/1225 ,  B82Y20/00 ,  G01N21/774 ,  G02B6/107 ,  G02B6/1226

摘要： 一种用于制造设置有等离子激元波导(8)的光子晶体器件(1)的方法包括以下步骤：制备膜(2)；以程序化方式将聚焦离子束施加在膜(2)上，以便获得由根据预置晶格定位的通孔(6)的规则的平面布置组成的光子晶体(5)，并且还包括谐振腔(7)；以及通过由聚焦电子束诱导的化学汽相沉积在谐振腔处提供圆锥形等离子激元波导(8)。控制诱导沉积的聚焦电子束，以便在维持电子束的位置恒定的情况下，从突出结构的基部开始直到顶端逐渐减小电子束的横截面。

公开(公告)号：CN102292158A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN200980134030.9

申请日：2009-08-28

申请人： 卡尔梅德有限公司

发明人： E·M·迪发布里滋奥 ,  G·库达 ,  F·梅卡里尼 ,  F·德安格利斯 ,  F·根蒂勒

IPC分类号： B01L3/00

CPC分类号： B01L3/502746 ,  B01L3/502707 ,  B01L3/5088 ,  B01L2200/0678 ,  B01L2300/089 ,  B01L2300/0896 ,  B01L2300/166 ,  B01L2400/086 ,  B82Y30/00 ,  G01N21/554

摘要： 溶质的浓缩和定位装置(1)包括基底(2)和从基底(2)上垂直升起的多个棱柱状的刻蚀微结构(4)。该微结构(4)以周期性的方式彼此间隔开使得该基底(2)具有超疏水性。