-
公开(公告)号：CN110148548A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910426923.6
申请日：2016-02-03
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/244
摘要： 本发明涉及一种粒子束系统。该粒子束系统具有多粒子束发生器，其被配置成产生多条部分粒子束，部分粒子束在空间上间隔开，至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜，其被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区的检测器系统和投射系统，该投射系统被配置成将交互产物投射到检测器系统上。投射系统和多个检测区相匹配，使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到第一检测区上，而源自第一平面的第二区的交互产物被投射到与第一检测区不同的第二检测区上。该检测器系统包括过滤器装置。
-
公开(公告)号：CN107210176A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680008777.X
申请日：2016-02-03
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/244
摘要： 本发明涉及一种粒子束系统，其包括被设计成用于生成第一带电粒子束(309)的粒子源(301)。该粒子束系统具有多粒子束发生器(305)，该多粒子束发生器被配置成用于从第一入射的带电粒子束中产生多条部分粒子束(13)，所述部分粒子束在空间上在垂直于这些部分粒子束的传播方向的方向上间隔开，其中，这多条部分粒子束至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜(102)，该透镜被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，其方式为使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区(209)的检测器系统和投射系统(205)，其中，该投射系统被配置成用于将由于这些入射的部分粒子束而离开该第一平面的交互产物投射到该检测器系统上。该投射系统和该多个检测区相匹配，其方式为使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到该检测系统的第一检测区上，而源自该第一平面的第二区的交互产物被投射到与该第一检测区不同的第二检测区上。另外，该检测器系统包括用于根据交互产物对应的路线来过滤这些交互产物的过滤器装置(208)。
-
公开(公告)号：CN113936983A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111084339.0
申请日：2016-02-03
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种粒子束系统。该粒子束系统具有多粒子束发生器，其被配置成产生多条部分粒子束，部分粒子束在空间上间隔开，至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜，其被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区的检测器系统和投射系统，该投射系统被配置成将交互产物投射到检测器系统上。投射系统和多个检测区相匹配，使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到第一检测区上，而源自第一平面的第二区的交互产物被投射到与第一检测区不同的第二检测区上。该检测器系统包括过滤器装置。
-
公开(公告)号：CN107210176B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201680008777.X
申请日：2016-02-03
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/244
摘要： 本发明涉及一种粒子束系统，其包括被设计成用于生成第一带电粒子束(309)的粒子源(301)。该粒子束系统具有多粒子束发生器(305)，该多粒子束发生器被配置成用于从第一入射的带电粒子束中产生多条部分粒子束(13)，所述部分粒子束在空间上在垂直于这些部分粒子束的传播方向的方向上间隔开，其中，这多条部分粒子束至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜(102)，该透镜被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，其方式为使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区(209)的检测器系统和投射系统(205)，其中，该投射系统被配置成用于将由于这些入射的部分粒子束而离开该第一平面的交互产物投射到该检测器系统上。该投射系统和该多个检测区相匹配，其方式为使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到该检测系统的第一检测区上，而源自该第一平面的第二区的交互产物被投射到与该第一检测区不同的第二检测区上。另外，该检测器系统包括用于根据交互产物对应的路线来过滤这些交互产物的过滤器装置(208)。
-
公开(公告)号：CN110148548B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201910426923.6
申请日：2016-02-03
申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC分类号： H01J37/09 , H01J37/244
摘要： 本发明涉及一种粒子束系统。该粒子束系统具有多粒子束发生器，其被配置成产生多条部分粒子束，部分粒子束在空间上间隔开，至少包括第一部分粒子束和第二部分粒子束。该粒子束系统具有透镜，其被配置成用于使入射的部分粒子束聚焦在第一平面中，使得该第一平面中该第一部分粒子束撞击的第一区域与该第二部分粒子束撞击的第二区是分开的。该粒子束系统包括具有多个检测区的检测器系统和投射系统，该投射系统被配置成将交互产物投射到检测器系统上。投射系统和多个检测区相匹配，使得源自该第一平面的第一区的交互产物被投射到第一检测区上，而源自第一平面的第二区的交互产物被投射到与第一检测区不同的第二检测区上。该检测器系统包括过滤器装置。
-
-
-
-
搜索结果
5 条记录 (耗时 0.035 秒)
