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公开(公告)号:CN117242484A
公开(公告)日:2023-12-15
申请号:CN202280029696.3
申请日:2022-03-23
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor: D·克洛赫科夫 , J·T·纽曼 , T·柯布 , E·托佩 , J·佩尔施 , A·斯里坎塔 , A·弗莱塔格
IPC: G06T7/00
Abstract: 本发明关于识别高深宽比(HAR)结构的柱中的环状结构。对于环的分割,使用机器学习逻辑。在此描述该机器学习逻辑的两步骤训练方法。