公开(公告)号：CN118984995A

公开(公告)日：2024-11-19

申请号：CN202380030166.5

申请日：2023-03-27

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： A·阿尔佩罗维奇 ,  T·科布 ,  J·T·纽曼 ,  A·斯利坎塔

IPC: G06N3/082 ,  G06N3/0985 ,  G06N3/0455 ,  G06N3/0895 ,  G06T7/00 ,  G06V10/764 ,  G06V10/774 ,  G06V10/82

Abstract: 本发明关于一种用于检测异常(15)的计算机实施方法(10、10’)，该计算机实施方法包含：选择一晶片(120)的成像数据集(12)和一定义机器学习模型(16)用于异常检测的超参数值；通过计算一目标函数值来训练和评估该机器学习模型(16)；选择所述已训练机器学习模型中的一个并将其应用于检测异常(15)。本发明还关于一种用于检测晶片(120)的成像数据集(12)中异常(15)的计算机实施方法(10”)，该计算机实施方法包含：针对每个缺陷类别提供异常检测图像值分布的样本；针对异常定位通过训练一机器学习模型来校准该异常检测图像(20、26、26’)；将一临界值应用于已校准异常检测图像(98、108)，以检测异常(15)。