公开(公告)号：CN1322282A

公开(公告)日：2001-11-14

申请号：CN99811871.0

申请日：1999-08-31

申请人： 卢卡斯新星传感器公司

发明人： 纳迪姆·I·马卢夫 ,  柯特·R·威廉斯 ,  伯特·P·范德里埃胡岑 ,  爱德华·N·富勒 ,  理查德·J·巴伦

IPC分类号： F15C5/00 ,  B60T8/36

CPC分类号： F16K99/0001 ,  B81B3/0024 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0044 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0098 ,  Y10T137/0396

摘要： 本发明提供一种正比微阀,该微阀具有第一、第二和第三层以及高形态比的几何形状。第一层形成具有入口和出口的腔。第二层因掺杂而具有低电阻率,并结合在第一层和第三层之间,该第二层上形成具有流通区域的腔,以使流体在入、出口之间流动。第二层上还形成可致动的移动部件以及一个或多个热致致动器,该致动器用于使移动部件移到一个位置,该位置位于打开和关闭位置之间并包含该打开和关闭位置,以使流体流入或流出。第三层形成该腔的一个壁,并提供电热热膨胀致动器用的电接触部件。热致致动器和移动部件具有高的形态比,用反应性离子深度蚀刻法形成,使得它们可以在第二层的平面内移动而不能移出此平面。因此,致动和移动部件的移动均在第二层的平面内进行。