公开(公告)号：CN1922423A

公开(公告)日：2007-02-28

申请号：CN200580006045.9

申请日：2005-02-25

申请人： 铝微有限公司

发明人： E·N·富勒

IPC分类号： F16K31/00

CPC分类号： F16K99/0001 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0044 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0098

摘要： 一种微阀装置包括先导阀和先导操作阀。先导阀包括具有开口的第一层，和具有与这些开口流体相通的腔室的第二层，和用于控制流体流动的可动部件。先导操作阀包括三个板。两个开口，压力供应和压力释放通道与先导操作阀的阀芯部分流体相通。阀芯可动以允许从第二流体源到负载的流动。第三板包括与第一流体，所述压力供应和压力释放通道，第一板端口中的一个，所述开口中的一个流体相通的第一源端口，与第一储存器流体相通的第一端口，与第二流体源流体相通的第二端口，和与负载流体相通的负载端口。

公开(公告)号：CN104197073A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201310757438.X

申请日：2013-12-27

申请人： 浙江盾安禾田金属有限公司

发明人： P·阿鲁纳萨拉姆 ,  A·劳

IPC分类号： F16K31/04 ,  F16K37/00 ,  F16K99/00

CPC分类号： G05D7/0694 ,  F25B41/062 ,  F25B49/02 ,  F25B2400/15 ,  F25B2600/2519 ,  F25B2700/135 ,  G01F1/684 ,  G01F1/69 ,  G01F15/005 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  F16K99/0001 ,  F16K99/0042 ,  F16K2099/0098 ,  G01F15/00

摘要： 具有综合流动感应能力的微型阀，本发明涉及一种用于控制流体从源流到负载的流动的系统，其包括源。通/断型控制阀与该源连通。微机电系统与通/断型控制阀连通。消耗装置与微机电系统连通。电子控制器与消耗装置和源连通。电子控制器测量由流过微机电系统的流体流动所导致的微机电系统的参数变化，以感应流过微机电系统的流体流动。

公开(公告)号：CN1322282A

公开(公告)日：2001-11-14

申请号：CN99811871.0

申请日：1999-08-31

申请人： 卢卡斯新星传感器公司

发明人： 纳迪姆·I·马卢夫 ,  柯特·R·威廉斯 ,  伯特·P·范德里埃胡岑 ,  爱德华·N·富勒 ,  理查德·J·巴伦

IPC分类号： F15C5/00 ,  B60T8/36

CPC分类号： F16K99/0001 ,  B81B3/0024 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0044 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0098 ,  Y10T137/0396

摘要： 本发明提供一种正比微阀,该微阀具有第一、第二和第三层以及高形态比的几何形状。第一层形成具有入口和出口的腔。第二层因掺杂而具有低电阻率,并结合在第一层和第三层之间,该第二层上形成具有流通区域的腔,以使流体在入、出口之间流动。第二层上还形成可致动的移动部件以及一个或多个热致致动器,该致动器用于使移动部件移到一个位置,该位置位于打开和关闭位置之间并包含该打开和关闭位置,以使流体流入或流出。第三层形成该腔的一个壁,并提供电热热膨胀致动器用的电接触部件。热致致动器和移动部件具有高的形态比,用反应性离子深度蚀刻法形成,使得它们可以在第二层的平面内移动而不能移出此平面。因此,致动和移动部件的移动均在第二层的平面内进行。

公开(公告)号：CN105402477A

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：CN201510303276.1

申请日：2015-06-04

申请人： 盾安美斯泰克股份有限公司

发明人： P.阿鲁纳萨拉姆 ,  A.P.拉奥 ,  D.K.贝萨拉 ,  G.K.格利

IPC分类号： F16K31/66 ,  F16K3/30

CPC分类号： F16K99/0003 ,  B08B7/02 ,  B08B17/00 ,  F16K11/0716 ,  F16K31/025 ,  F16K99/0044 ,  F16K2099/009 ,  F16K2099/0098 ,  Y10T137/043 ,  F16K99/0011

摘要： 本发明公开了防止微型阀中的堵塞的方法。一种从流体系统中的阀上清洁污染物的方法，所述污染物包括颗粒污染物，所述方法包括响应于除过热上的变化之外的在所述流体系统中的条件上的变化而将所述阀的阀流量控制元件从第一位置移动到第二位置。

公开(公告)号：CN100501212C

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200580006045.9

申请日：2005-02-25

申请人： 铝微有限公司

发明人： E·N·富勒

IPC分类号： F16K31/00

CPC分类号： F16K99/0001 ,  F16K99/0011 ,  F16K99/0034 ,  F16K99/0044 ,  F16K2099/008 ,  F16K2099/0098

摘要： 一种微阀装置包括先导阀和先导操作阀。先导阀包括具有开口的第一层，和具有与这些开口流体相通的腔室的第二层，和用于控制流体流动的可动部件。先导操作阀包括三个板。两个开口，压力供应和压力释放通道与先导操作阀的阀芯部分流体相通。阀芯可动以允许从第二流体源到负载的流动。第三板包括与第一流体，所述压力供应和压力释放通道，第一板端口中的一个，所述开口中的一个流体相通的第一源端口，与第一储存器流体相通的第一端口，与第二流体源流体相通的第二端口，和与负载流体相通的负载端口。