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公开(公告)号：CN105659126A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480058460.8
申请日：2014-10-21
申请人： 原子能和替代能源委员会 , 加利福尼亚技术学院
CPC分类号： G02B6/12007 , G01D5/266 , G01D5/268 , G01D5/35312 , G01G3/165 , G01H9/00 , G01N2015/1043 , G02B6/1225 , G02B6/29343 , G02B6/29395 , G02B6/3536
摘要： 根据本发明的装置包括：支撑件(30)，在所述支撑件上有：机械元件(34)的阵列(32)，所述机械元件锚定至所述支撑件并能够相对于所述支撑件移动，以及驱动和/或检测装置，所述驱动和/或检测装置用于驱动所述元件和/或检测所述元件的移动或所述移动的频率变化。根据本发明，所述驱动和/或检测装置包括光滤波器(42)的阵列。每个滤波器在特定波长处谐振，并耦合至所述元件(34)中的一个。所述驱动和/或检测装置在所述元件与所述支撑件之间定位在所有或一些的所述元件的附近。所述光滤波器相对于所述支撑件固定，并且所述机械元件和所述光滤波器是叠置的。
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公开(公告)号：CN109994364A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201910003107.4
申请日：2019-01-02
申请人： 原子能和替代能源委员会
摘要： 公开了微机械或纳米机械颗粒检测设备。颗粒检测设备包括：支撑件；用于接收颗粒的平台(4)；四个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)，所述四个梁将平台(4)悬挂在支撑件(2)上，使得平台(4)能够振动；用于使所述平台(4)以共振频率振动的装置(8)；用于检测平台(4)在位移方向上的位移的检测装置(10)。每个梁(12.1，12.2，12.3，12.4)具有长度l、宽度L和厚度e，并且平台(4)具有在平台的位移方向上的尺寸，并且其中，在设备具有平面外模式时l≥10×L，并且，每个梁在平台(4)的位移方向上的尺寸比平台(4)在位移方向上的尺寸小至少10倍。
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公开(公告)号：CN104555888A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410567514.5
申请日：2014-10-22
申请人： 原子能和替代能源委员会
CPC分类号： G01N15/10 , G01L1/148 , G01L1/18 , G01L1/2293 , G01N5/02 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N2015/1043 , G01N2291/02466 , G01N2291/0256
摘要： 一种特别用于重量检测的机电检测器件以及一种用于制造所述器件的方法。所述机电检测器件包括支承件(4)、至少一个杆(8)以及检测杆位移的装置(10)，所述支承件(4)包括限定有平面(6)的面，所述至少一个杆(8)能够相对于所述支承件运动，所述装置(10)根据所述位移输出一个信号。所述杆通过一端固定到所述支承件上并且近似垂直于所述平面，并且所述杆的另一端包括至少一个能够接收一个或多个颗粒(14)的接收区域(12)，所述一个或多个颗粒(14)能够引起或改变所述杆的位移，从而通过所述信号来确定所述颗粒的至少一个物理特性。根据本发明，所述检测装置位于所述接收区域与所述支承件之间。
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公开(公告)号：CN104579224B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201410568859.2
申请日：2014-10-22
申请人： 原子能和替代能源委员会
摘要： 一种用于驱动和/或检测机械元件的运动的光机械器件。光机械器件包括支座(20)，支座上具有：锚固到支座并且设计成相对于支座运动的至少一个机械元件(26)，以及驱动和/或检测机械元件的运动或运动频率变化的器件，其中，驱动和/或检测装置的至少一部分在机械元件和支座之间被布置在机械元件的全体或一部分下方，其中，驱动和/或检测装置包括相对于支座固定的光学器件(21)，光学器件包括在距机械元件确定距离处被布置在机械元件的全体或一部分下方的至少一个光波导(22)，且至少一个光波导设计成传播至少一个与机械元件相互作用的具有给定波长的光波，且其中，光波导在距机械元件确定距离处，使得光波导的渐逝场与机械元件相互作用。
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公开(公告)号：CN104579224A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410568859.2
申请日：2014-10-22
申请人： 原子能和替代能源委员会
CPC分类号： G01V7/005 , G01D5/266 , G01D5/268 , G01D5/35312 , G01G3/16 , G01N5/00 , G01N15/0606 , G02B6/12007 , G02B6/29338 , G02B6/3536
摘要： 一种用于驱动和/或检测机械元件的运动的光机械器件。光机械器件包括支座(20)，支座上具有：锚固到支座并且设计成相对于支座运动的至少一个机械元件(26)，以及驱动和/或检测机械元件的运动或运动频率变化的器件，其中，驱动和/或检测装置的至少一部分在机械元件和支座之间被布置在机械元件的全体或一部分下方，其中，驱动和/或检测装置包括相对于支座固定的光学器件(21)，光学器件包括在距机械元件确定距离处被布置在机械元件的全体或一部分下方的至少一个光波导(22)，且至少一个光波导设计成传播至少一个与机械元件相互作用的具有给定波长的光波，且其中，光波导在距机械元件确定距离处，使得光波导的渐逝场与机械元件相互作用。
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