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公开(公告)号：CN106483073A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201610756174.X
申请日：2016-08-29
申请人： 原子能和替代能源委员会
发明人： 劳伦特·杜拉福格
CPC分类号： G01N25/20 , G01K11/00 , G01K17/00 , G01L7/026 , G01L21/12 , G01N33/0036 , G02B6/29341
摘要： 本发明涉及一种热流传感器、气体传感器及相应的测量系统。所述热流传感器包括至少一个悬挂在支撑件上的光学谐振器(8)，所述光学谐振器(8)被悬挂在气态环境中，至少一个将测量光束引入波导的第一装置(16)，至少一个第二收集(16，18)，该收集装置(16，18)收集来自所述光学谐振器的检测光束，以及用于加热所述光学谐振器(8)的加热装置(20)。
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公开(公告)号：CN104849302B
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201510076684.8
申请日：2015-02-12
申请人： 原子能和替代能源委员会
IPC分类号： G01N25/12
摘要： 本发明涉及具有悬挂结构的气体浓度传感器，包括至少一个相对于支撑部的悬挂结构(2)，所述悬挂结构(2)为导电材料并且所述结构具有低的热响应时间，所述浓度传感器还包括用于对所述悬挂结构(2)进行偏置的装置以及用于对所述悬挂结构(2)的端子处的电压变化进行测量的装置(8)，所述偏置装置(6)由交变电流源形成，所述交变电流源的强度对所述悬挂结构(2)加热并且所述交变电流源的频率导致所述偏置装置的信号与所述测量装置测得的信号之间出现相移，所述浓度传感器还包括用于确定由所述气体浓度变化导致的相移变化的装置以及用于通过相位变化确定所述气体的浓度变化的装置。
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公开(公告)号：CN103674336B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201310436448.3
申请日：2013-09-23
申请人： 原子能和替代能源委员会
摘要： 本发明涉及一种热流量传感器，其包括：‑支撑件（2），‑至少一个意在相对于支撑件（2）振动的元件（4），‑相对于振动元件（4）的用于所述振动元件（4）的悬挂装置（14），‑用于加热振动元件（4）的装置（10），‑用于静电激励振动元件（4）从而使振动元件以其共振频率振动的装置（8），‑用于检测振动元件（4）的共振频率变化的压电计（12）、形成用于通过焦耳效应加热振动元件（4）的装置的计量器，以及包括两个梁的悬挂装置（14），所述两个梁由纳米线形成从而减小从振动元件朝向支撑件的热量损失。
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公开(公告)号：CN106483073B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201610756174.X
申请日：2016-08-29
申请人： 原子能和替代能源委员会
发明人： 劳伦特·杜拉福格
摘要： 本发明涉及一种热流传感器、气体传感器及相应的测量系统。所述热流传感器包括至少一个悬挂在支撑件上的光学谐振器(8)，所述光学谐振器(8)被悬挂在气态环境中，至少一个将测量光束引入波导的第一装置(16)，至少一个第二收集(16，18)，该收集装置(16，18)收集来自所述光学谐振器的检测光束，以及用于加热所述光学谐振器(8)的加热装置(20)。
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公开(公告)号：CN104797930B
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201380060312.5
申请日：2013-09-17
申请人： 原子能和替代能源委员会
CPC分类号： G01N30/66 , G01K17/00 , G01N25/18 , G01N27/18 , G01N2011/0093
摘要： 本发明涉及一种热流传感器，该热流传感器包括悬挂到支撑件上的至少一个第一悬挂元件(2)，所述第一悬挂元件(2)由导电材料制成，所述悬挂元件(2)的第一偏置装置(6)以及用于测量悬挂元件(2)的末端处的电压的变化的第一测量装置(8)，所述第一悬挂元件(2)由纳米线形成，并且所述第一偏置装置(6)由交变电流源形成，所述交变电流源的强度通过焦耳效应加热第一悬挂元件(2)。所述传感器能够采用多个悬挂纳米线的形式并能够基于气体的热导率测量的原理被用作气体传感器。
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公开(公告)号：CN105659126A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480058460.8
申请日：2014-10-21
申请人： 原子能和替代能源委员会 , 加利福尼亚技术学院
CPC分类号： G02B6/12007 , G01D5/266 , G01D5/268 , G01D5/35312 , G01G3/165 , G01H9/00 , G01N2015/1043 , G02B6/1225 , G02B6/29343 , G02B6/29395 , G02B6/3536
摘要： 根据本发明的装置包括：支撑件(30)，在所述支撑件上有：机械元件(34)的阵列(32)，所述机械元件锚定至所述支撑件并能够相对于所述支撑件移动，以及驱动和/或检测装置，所述驱动和/或检测装置用于驱动所述元件和/或检测所述元件的移动或所述移动的频率变化。根据本发明，所述驱动和/或检测装置包括光滤波器(42)的阵列。每个滤波器在特定波长处谐振，并耦合至所述元件(34)中的一个。所述驱动和/或检测装置在所述元件与所述支撑件之间定位在所有或一些的所述元件的附近。所述光滤波器相对于所述支撑件固定，并且所述机械元件和所述光滤波器是叠置的。
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公开(公告)号：CN104797930A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060312.5
申请日：2013-09-17
申请人： 原子能和替代能源委员会
CPC分类号： G01N30/66 , G01K17/00 , G01N25/18 , G01N27/18 , G01N2011/0093
摘要： 本发明涉及一种热流传感器，该热流传感器包括悬挂到支撑件上的至少一个第一悬挂元件(2)，所述第一悬挂元件(2)由导电材料制成，所述悬挂元件(2)的第一偏置装置(6)以及用于测量悬挂元件(2)的末端处的电压的变化的第一测量装置(8)，所述第一悬挂元件(2)由纳米线形成，并且所述第一偏置装置(6)由交变电流源形成，所述交变电流源的强度通过焦耳效应加热第一悬挂元件(2)。所述传感器能够采用多个悬挂纳米线的形式并能够基于气体的热导率测量的原理被用作气体传感器。
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公开(公告)号：CN103675015A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310436123.5
申请日：2013-09-23
申请人： 原子能和替代能源委员会
IPC分类号： G01N25/18
摘要： 一种热通量传感器，包括至少一个支撑部，其中至少一个薄膜（4）通过至少四个纳米线（12.1、12.2、14.1、14.2）相对于所述支撑部悬挂，所述薄膜（4）由至少一种导电材料制成，并且所述纳米线（12.1、12.2、14.1、14.2）由导电材料制成，其中两个纳米线（12.1、12.2）连接到电流源以形成所述薄膜（4）的两个端子之间的极化装置以及加热所述薄膜（4）的装置，并且其中两个纳米线（14.1、14.2）连接到电压计以形成用于测量所述薄膜（4）的端子处的电压的装置。
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公开(公告)号：CN103674336A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310436448.3
申请日：2013-09-23
申请人： 原子能和替代能源委员会
CPC分类号： G01F1/662 , G01N25/18 , G01N27/18 , G01N29/022 , G01N30/66 , G01N33/0027
摘要： 本发明涉及一种热流量传感器，其包括：支撑件（2），至少一个意在相对于支撑件（2）振动的元件（4），相对于振动元件（4）的用于所述振动元件（4）的悬挂装置（14），用于加热振动元件（4）的装置（10），用于静电激励振动元件（4）从而使振动元件以其共振频率振动的装置（8），用于检测振动元件（4）的共振频率变化的压电计（12）、形成用于通过焦耳效应加热振动元件（4）的装置的计量器，以及包括两个梁的悬挂装置（14），所述两个梁由纳米线形成从而减小从振动元件朝向支撑件的热量损失。
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公开(公告)号：CN104579224B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201410568859.2
申请日：2014-10-22
申请人： 原子能和替代能源委员会
摘要： 一种用于驱动和/或检测机械元件的运动的光机械器件。光机械器件包括支座(20)，支座上具有：锚固到支座并且设计成相对于支座运动的至少一个机械元件(26)，以及驱动和/或检测机械元件的运动或运动频率变化的器件，其中，驱动和/或检测装置的至少一部分在机械元件和支座之间被布置在机械元件的全体或一部分下方，其中，驱动和/或检测装置包括相对于支座固定的光学器件(21)，光学器件包括在距机械元件确定距离处被布置在机械元件的全体或一部分下方的至少一个光波导(22)，且至少一个光波导设计成传播至少一个与机械元件相互作用的具有给定波长的光波，且其中，光波导在距机械元件确定距离处，使得光波导的渐逝场与机械元件相互作用。
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