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公开(公告)号：CN115265844A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210914605.6
申请日：2022-07-29
申请人： 厦门大学
IPC分类号： G01L1/00
摘要： 本发明公开了一种压力敏感层的制备方法、压力敏感层、压力传感器；所述方法包括：S1采用红外皮秒激光器，对密胺脂多孔绵进行激光分割，制成带双面金字塔多孔微结构的压力敏感层；S2对压力敏感层进行超声清洗；S3对清洗后的压力敏感层进行烘干；S4采用管式炉对压力敏感层进行高温碳化导电处理；本发明通过激光在密胺脂多孔绵上制造出双面金字塔微结构的压力敏感层，实现多孔微结构的高精度、快速制造，有效提升传感器灵敏度。通过缓压层的结构设计使传感器压缩形变速度降低，有效提升了传感器的量程。本方法制造的柔性压力传感器，具有同时具备高灵敏度和宽量程的特点。
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公开(公告)号：CN115452209B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202210888107.9
申请日：2022-07-25
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明公开了一种基于非对称热整流结构的柔性多模态触觉传感器，由上至下包括柔性上衬底、叉指电极、柔性基体和柔性下衬底；柔性基体的上表面具有微凸起结构且涂覆有导电涂层，微凸起结构与叉指电极相接触并形成电性连接；柔性基体的下表面设有成对的微沟槽，微沟槽内填充导热填料，成对的微沟槽通过导热差异形成冷区和热区，冷区和热区上分别设有块状电极，冷区和热区的块状电极之间通过热电引脚连接。本发明提供的柔性多模态触觉传感器具有柔韧性好、热电性能高、成本低廉、性能可定制的特点，同时实现温度压力传感一体化，解决了单一器件只能检测单一物理量的问题。
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公开(公告)号：CN115452209A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202210888107.9
申请日：2022-07-25
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明公开了一种基于非对称热整流结构的柔性多模态触觉传感器，由上至下包括柔性上衬底、叉指电极、柔性基体和柔性下衬底；柔性基体的上表面具有微凸起结构且涂覆有导电涂层，微凸起结构与叉指电极相接触并形成电性连接；柔性基体的下表面设有成对的微沟槽，微沟槽内填充导热填料，成对的微沟槽通过导热差异形成冷区和热区，冷却和热区上分别设有块状电极，冷区和热区的块状电极之间通过热电引脚连接。本发明提供的柔性多模态触觉传感器具有柔韧性好、热电性能高、成本低廉、性能可定制的特点，同时实现温度压力传感一体化，解决了单一器件只能检测单一物理量的问题。
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公开(公告)号：CN116147796A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310136129.4
申请日：2023-02-20
申请人： 厦门大学
摘要： 本发明公开了一种基于压力和温度的自供电柔性传感器及其制作方法和应用，该传感器包括由下至上依次层叠设置的下电极层、热电自供电层、热阻传感层、互锁压敏层和上电极层；下电极层和上电极层用于测量热电自供电层由于被测物体与环境之间的温差所产生的电势差；互锁压敏层包括上压敏层和下压敏层，上压敏层和下压敏层中相对的两个表面均设有微结构并且构成互锁连接，在压力作用下改变上压敏层和下压敏层的接触面积并产生电阻变化；热阻传感层中填充有液态金属，通过液态金属的体积变化改变热电自供电层与下压敏层的接触面积并产生电阻变化。由于热阻传感层和互锁压敏层电阻变化，结合热电自供电层产生的电势差，最终实现压力和温度解耦。
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