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公开(公告)号：CN114024196B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202111265621.9
申请日：2021-10-28
发明人： 孙志军
IPC分类号： H01S3/082
摘要： 本发明公开了一种谐振结构、光电器件及制作方法、光相互作用调控方法，其中，该谐振结构具有至少两组谐振模式，该谐振模式具有独立调节的谐振频率和谐振参数，不同组谐振模式位于同一微腔结构中，且不同组谐振模式的谐振光场在空间分布上相互重叠。本发明的谐振腔结构具有多重谐振特性，即其不同组谐振模式的谐振频率可以分别独立调节，从而可使其与光电器件中多个不同频率的窄带内的光子及其所涉及的光相互作用过程进行匹配来进行调控，进而实现光电器件中光相互作用的调控，克服了传统光学谐振腔只能在单个很窄的窄带内的光子及其所涉及的光相互作用过程进行调控，增加了光相互作用的调控范围，大大的提高了光学器件的适配性。
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公开(公告)号：CN114024196A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111265621.9
申请日：2021-10-28
发明人： 孙志军
IPC分类号： H01S3/082
摘要： 本发明公开了一种谐振结构、光电器件及制作方法、光相互作用调控方法，其中，该谐振结构具有至少两组谐振模式，该谐振模式具有独立调节的谐振频率和谐振参数，不同组谐振模式位于同一微腔结构中，且不同组谐振模式的谐振光场在空间分布上相互重叠。本发明的谐振腔结构具有多重谐振特性，即其不同组谐振模式的谐振频率可以分别独立调节，从而可使其与光电器件中多个不同频率的窄带内的光子及其所涉及的光相互作用过程进行匹配来进行调控，进而实现光电器件中光相互作用的调控，克服了传统光学谐振腔只能在单个很窄的窄带内的光子及其所涉及的光相互作用过程进行调控，增加了光相互作用的调控范围，大大的提高了光学器件的适配性。
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公开(公告)号：CN100575998C
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200810070878.7
申请日：2008-04-09
申请人： 厦门大学
发明人： 孙志军
摘要： 一种阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器，涉及一种光学滤波器。提供一种基于目前平面微纳加工工艺可实现的阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器。设有衬底，衬底上设下层金属薄膜，在下层金属薄膜上设介质层，在介质层中间镶嵌金属光栅层，在介质层上设上层金属薄膜。金属光栅层设若干阵列单元，在不同的阵列单元内金属光栅的周期不同。因在衬底上的两层金属薄膜之间夹一层镶嵌有金属光栅的介质层，在芯片平面的不同集成单元内金属光栅具有不同的周期，从而调节了不同单元内的等效折射率。当光波通过这种阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器时，不同的阵列单元具有不同的谐振波长，于是在谐振波长附近的一定波谱宽度内形成一个透射通带，起到滤波作用。
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公开(公告)号：CN100478717C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200710009307.8
申请日：2007-07-30
申请人： 厦门大学
发明人： 孙志军
摘要： 一种面向集成光路的长程表面等离激子波导及其制造方法，涉及一种集成光波导。提供一种基于金属微纳结构的垂直型面向集成光路的长程表面等离激子波导及其制造方法。面向集成光路的长程表面等离激子波导设有衬底，在衬底上设有垂直竖立的金属层，在金属层两侧分别设有一介质层，形成介质层—金属层—介质层3层结构。在衬底上制备支撑材料层，将支撑材料层刻蚀成一个断面垂直的台阶；在台阶断面连续淀积介质层、金属层和介质层。去除支撑材料，得面向集成光路长程表面等离激子波导。也可在介质层—金属层—介质层3层结构的外侧淀积外介质层材料，即得另一种集成光路长程表面等离激子波导。
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公开(公告)号：CN101759143A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN201010044845.2
申请日：2010-01-15
申请人： 厦门大学
摘要： 一种在硅表面可控生长微纳孔结构的方法，涉及一种在硅表面可控生长微纳孔结构的方法。提供一种可控制所产生微纳孔的位置及其分布和大小，不需要阳极氧化所需的外电源和光照系统的在硅表面可控生长微纳孔结构的方法。准备硅衬底；在硅衬底表面形成金属纳米颗粒或岛状金属薄膜的分布；将样品浸入电解质溶液进行电化学腐蚀；将进行电化学腐蚀后的样品浸入所用金属的化学腐蚀溶液，在硅衬底表面形成微纳孔，去除微纳孔底部的金属，即在硅表面可控生长微纳孔结构。
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公开(公告)号：CN1975467A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200610111317.8
申请日：2006-08-21
申请人： 厦门大学
发明人： 孙志军
IPC分类号： G02B3/00
摘要： 一种基于微小孔隙衍射的甚微光学透镜及其制造方法，涉及一种光学透镜，尤其是涉及一种具有聚焦和准直功能的波长级大小甚微光学透镜及制法。提供一种在微光学领域实现聚焦和(或)准直功能的只具有波长级尺寸大小的基于微小孔隙衍射的甚微光学透镜及制造方法。设有金属膜，金属膜上设有至少1个通孔，在金属膜底面设有支撑台。在金属膜底面可设有透明介质衬底，或在金属膜底面与支撑台之间设有透明介质衬底夹层。制造时在透明介质衬底上用光刻法形成要作孔隙结构的厚光刻胶反图案；在衬底上从上往下淀积金属膜；去掉光刻胶，在衬底上制作成金属孔隙或金属孔隙阵列。可实现透镜元件小型化、器件间能量转换的高效化及其它利用微光束进行操作的用途。
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公开(公告)号：CN115718339A
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202211333694.1
申请日：2022-10-28
申请人： 厦门大学
IPC分类号： G02B5/28
摘要： 一种微腔滤光器阵列的实现方法，涉及滤光器。提供尤其是其中具有不同厚度腔内介质层的各个滤光器单元的设计和制备方法。所述微腔滤光器阵列的滤光器单元包括位于衬底上的第一反射层和第二反射层、以及位于它们中间具有不同厚度的腔内介质层。微腔滤光器阵列的实现方法为通过较少次数的光刻剥离工艺实现微腔滤光器阵列中较多数目滤光器单元的设计和制备方法，其中包括微腔滤光器阵列中的滤光器单元及其腔内介质层厚度的设计方法、微腔滤光器阵列中各个滤光器单元的腔内介质层厚度的分配及每次光刻剥离工艺中镀膜区域选择的方法、以及微腔滤光器阵列中的滤光器单元的腔内介质层的制备方法。
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公开(公告)号：CN104570184B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201510026670.5
申请日：2015-01-20
申请人： 厦门大学
发明人： 孙志军
IPC分类号： G02B5/20
摘要： 一种可集成窄带微型滤光器，涉及一种滤光器。设有衬底、介质薄膜层结构和金属光栅；介质薄膜层结构设于衬底上表面，介质薄膜层结构设有至少2层介质薄膜层，每层介质薄膜层的折射率不同，金属光栅设于介质薄膜层结构上表面，金属光栅为一维金属光栅或二维金属光栅。通过调节光栅周期、介质薄膜层折射率和厚度，可以调节滤光器通带的中心波长和带宽。具有较小尺寸，有利于在微光学系统和光电器件中集成应用。用于集成微光学系统、或被集成在光电器件中实现滤光功能。可以制作在透明介质衬底上，做为单元器件在微光学系统中使用，也可以集成在光电器件中做为一个结构单元，对光电器件所发射光实现滤光功能。
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公开(公告)号：CN105572799A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610157083.4
申请日：2016-03-18
申请人： 厦门大学
IPC分类号： G02B6/122
CPC分类号： G02B6/1226
摘要： 本发明涉及一种实现表面等离激元纵向焦点强度调控的方法，在金属表面开设呈像素形状的若干凹槽，凹槽沿横向分布，并且在纵向方向呈至少一列，形成凹槽阵列；光线从垂直于金属表面的方向照射凹槽阵列，在金属表面生成纵向分布的表面等离激元焦点；遍历所有凹槽阵列的组合，检索得到具有特定纵向焦点强度分布的特定凹槽阵列，实现纵向焦点强度调控。本发明通过改变凹槽阵列的组合，能够得到不同要求的焦点分布与光强度，实现表面等离激元纵向焦点强度调控。表面等离激元的独特性质非常适合在金属表面制备微小尺寸的二维器件，基于表面等离激元来实现光场的纵向强度调控，将非常有利于器件的小型化和平面化集成。
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公开(公告)号：CN101261345A
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：CN200810070878.7
申请日：2008-04-09
申请人： 厦门大学
发明人： 孙志军
摘要： 一种阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器，涉及一种光学滤波器。提供一种基于目前平面微纳加工工艺可实现的阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器。设有衬底，衬底上设下层金属薄膜，在下层金属薄膜上设介质层，在介质层中间镶嵌金属光栅层，在介质层上设上层金属薄膜。金属光栅层设若干阵列单元，在不同的阵列单元内金属光栅的周期不同。因在衬底上的两层金属薄膜之间夹一层镶嵌有金属光栅的介质层，在芯片平面的不同集成单元内金属光栅具有不同的周期，从而调节了不同单元内的等效折射率。当光波通过这种阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器时，不同的阵列单元具有不同的谐振波长，于是在谐振波长附近的一定波谱宽度内形成一个透射通带，起到滤波作用。
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