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1.

发明公开
供应系统无效

公开(公告)号：CN101013266A

公开(公告)日：2007-08-08

申请号：CN200710005881.6

申请日：2007-02-28

申请人： 友达光电股份有限公司

发明人： 苏顺利 , 林荣昌 , 张晏坤 , 涂锦识 , 吴尚益

IPC分类号： G03F7/16 , B05C11/10

摘要： 本发明公开了一种供应系统，其包括有依序连接的供应装置、缓冲容器、储存容器、过滤模块及出口，以及连接于缓冲容器与过滤模块之间的回收管路。供应装置所提供的溶液经由缓冲容器和储存容器流至过滤模块，过滤后的溶液由出口排出，而过滤模块所过滤出的溶液由回收管路回收至缓冲容器，以再次利用。