公开(公告)号：CN1948776A

公开(公告)日：2007-04-18

申请号：CN200610162402.7

申请日：2006-11-22

申请人： 友达光电股份有限公司

发明人： 颜骏翔 ,  陈维绮 ,  杨博闵 ,  苏顺利

IPC分类号： F16D1/02

摘要： 一种轴连接器防尘套及应用该轴连接器防尘套的轴连接器结构，该轴连接器防尘套适用于一第一转轴与一第二转轴及位于其间的一轴连接器。轴连接器防尘套包括套设于轴连接器的一防尘套本体及一防尘套顶盖。其中，防尘套本体的两端分别具有一顶盖开口与一第一转轴开口。防尘套顶盖可与防尘套本体的顶盖开口接合。防尘套顶盖具有一第二转轴开口，其中防尘套本体的第一转轴开口与第一转轴密封接合，防尘套顶盖的第二转轴开口与第二转轴密封接合，以将轴连接器包覆于连接器防尘套中。采用本发明的轴连接器防尘套可有效避免转轴与轴连接器间因相互摩擦所产生的微粒掉落。

公开(公告)号：CN101013266A

公开(公告)日：2007-08-08

申请号：CN200710005881.6

申请日：2007-02-28

申请人： 友达光电股份有限公司

发明人： 苏顺利 ,  林荣昌 ,  张晏坤 ,  涂锦识 ,  吴尚益

IPC分类号： G03F7/16 ,  B05C11/10

摘要： 本发明公开了一种供应系统，其包括有依序连接的供应装置、缓冲容器、储存容器、过滤模块及出口，以及连接于缓冲容器与过滤模块之间的回收管路。供应装置所提供的溶液经由缓冲容器和储存容器流至过滤模块，过滤后的溶液由出口排出，而过滤模块所过滤出的溶液由回收管路回收至缓冲容器，以再次利用。

公开(公告)号：CN1945445A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200610137485.4

申请日：2006-10-27

申请人： 友达光电股份有限公司

发明人： 颜骏翔 ,  杨博闵 ,  苏顺利

IPC分类号： G03F7/30

摘要： 一种阶段性控制显影工艺的方法。首先，提供多个基板，且各基板上具有一光阻层。然后利用一输送带(conveyor)输送所述的基板进行一显影工艺，并于该输送带进行输送时阶段性改变该输送带的输送速度，以控制该显影工艺中各基板的显影速度并藉以控制该光阻层在显影时的线宽。