公开(公告)号：CN112145730A

公开(公告)日：2020-12-29

申请号：CN202011102083.7

申请日：2020-10-15

申请人： 合肥亦威科技有限公司

发明人： 张斌

IPC分类号： F16K3/24 ,  F16K3/34 ,  F16K31/04 ,  F16K31/50 ,  F16K31/54

摘要： 本文提供了一种比例阀，包括：阀体，其上设置有安装孔、进液通道和出液通道，进液通道和出液通道位于安装孔的两侧、并均与安装孔相通；阀芯，可轴向移动地密封安装在安装孔内，阀芯上设置有连通通道，连通通道通过阀芯往复移动来实现流量调节；传动机构，与阀芯相连接，用于带动阀芯沿安装孔的轴向往复直线移动；和电机，与传动机构相配合，用于驱动传动机构动作。该比例阀，电机通过驱动传动机构动作，实现传动机构带动阀芯沿安装孔的轴向进行直线移动，改变连通通道在安装孔内的位置，以此来调节比例阀的开度，实现比例阀流量调节，这种比例阀结构比较简单，更容易制作。

公开(公告)号：CN114314713B

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202210067198.X

申请日：2022-01-20

申请人： 合肥亦威科技有限公司

发明人： 冯雄涛 ,  金鑫 ,  顾佳星 ,  张斌

IPC分类号： C02F1/00 ,  C02F1/42 ,  C02F103/04

摘要： 本发明涉及纯水发生系统技术领域，解决了目前技术中的纯水发生装置在使用过程更换去离子树脂不方便，占据空间范围大，浪费严重的问题，尤其涉及一种纯水发生系统的提升装置，包括去离子树脂储存装置和过渡储液装置，去离子树脂储存装置插接在过渡储液装置内，去离子树脂储存装置和过渡储液装置为可拆卸固定连接；去离子树脂储存装置包括插接在过渡储液装置内的过滤组件，过滤组件外部的底端套设有加装组件，加装组件与过滤组件焊接，加装组件的底部通过螺钉可拆卸连接有固定板组件。本发明大大增加了系统的空间利用率，使去离子树脂的更换过程更加方便，同时增大了交换面积及容量，并且可以持续重复的使用。

公开(公告)号：CN111980910A

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN202010923346.4

申请日：2020-09-04

申请人： 合肥亦威科技有限公司

发明人： 张斌

IPC分类号： F04B53/08 ,  F04B53/16 ,  F04B53/22 ,  F04B53/10 ,  F04B53/00

摘要： 本发明公开了一种温控设备用自平衡补液排气装置。包括液泵、出液管道、工作管路和回液管道，还包括加热器筒体和进液管道，还包括补液水箱、补液管和排气管。本发明能够解决使用抽液泵抽液时，每次开机时，都必须依靠人工向泵中排除泵及其管道中的空气的问题。

公开(公告)号：CN111980910B

公开(公告)日：2024-11-12

申请号：CN202010923346.4

申请日：2020-09-04

申请人： 合肥亦威科技有限公司

发明人： 张斌

IPC分类号： F04B53/08 ,  F04B53/16 ,  F04B53/22 ,  F04B53/10 ,  F04B53/00

摘要： 本发明公开了一种温控设备用自平衡补液排气装置。包括液泵、出液管道、工作管路和回液管道，还包括加热器筒体和进液管道，还包括补液水箱、补液管和排气管。本发明能够解决使用抽液泵抽液时，每次开机时，都必须依靠人工向泵中排除泵及其管道中的空气的问题。

公开(公告)号：CN115539838A

公开(公告)日：2022-12-30

申请号：CN202210081866.4

申请日：2022-01-24

申请人： 合肥亦威科技有限公司

发明人： 冯雄涛 ,  金鑫 ,  顾佳星 ,  张斌

IPC分类号： F17D1/14 ,  F17D3/01 ,  H01L21/67

摘要： 本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种用于半导体生产的热交换系统，包括为热交换系统提供循环液的冷冻液系统、为热交换系统提供去离子循环液的去离子回路系统、厂务水系统和作为系统储液装置的储液系统，冷冻液系统的进、出液端与储液系统连接构成一个循环液的循环回路；一种用于半导体生产的热交换系统的热交换方法，包括以下过程：通过立式多级离心泵将水箱中的循环液实现一个独立的循环回路，循环液依次进入负载装置、集成回液装置和板式换热装置后进入水箱。本发明解决了热交换系统热交换时间过短，系统庞大，集成度比较低的问题，从而提高了热量交换的充分性，提高对于厂务水系统的利用率。

公开(公告)号：CN114314713A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202210067198.X

申请日：2022-01-20

申请人： 合肥亦威科技有限公司

发明人： 冯雄涛 ,  金鑫 ,  顾佳星 ,  张斌

IPC分类号： C02F1/00 ,  C02F1/42 ,  C02F103/04

摘要： 本发明涉及纯水发生系统技术领域，解决了目前技术中的纯水发生装置在使用过程更换去离子树脂不方便，占据空间范围大，浪费严重的问题，尤其涉及一种纯水发生系统的提升装置，包括去离子树脂储存装置和过渡储液装置，去离子树脂储存装置插接在过渡储液装置内，去离子树脂储存装置和过渡储液装置为可拆卸固定连接；去离子树脂储存装置包括插接在过渡储液装置内的过滤组件，过滤组件外部的底端套设有加装组件，加装组件与过滤组件焊接，加装组件的底部通过螺钉可拆卸连接有固定板组件。本发明大大增加了系统的空间利用率，使去离子树脂的更换过程更加方便，同时增大了交换面积及容量，并且可以持续重复的使用。

公开(公告)号：CN212296843U

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：CN202021913981.6

申请日：2020-09-04

申请人： 合肥亦威科技有限公司

发明人： 张斌

IPC分类号： F04B53/08 ,  F04B53/16 ,  F04B53/22 ,  F04B53/10 ,  F04B53/00

摘要： 本实用新型公开了一种温控设备用自平衡补液排气装置。包括液泵、出液管道、工作管路和回液管道，还包括加热器筒体和进液管道，还包括补液水箱、补液管和排气管。本实用新型能够解决使用抽液泵抽液时，每次开机时，都必须依靠人工向泵中排除泵及其管道中的空气的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN214008136U

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN202022302066.X

申请日：2020-10-15

申请人： 合肥亦威科技有限公司

发明人： 张斌

IPC分类号： F16K3/24 ,  F16K3/34 ,  F16K31/04 ,  F16K31/50 ,  F16K31/54

摘要： 本文提供了一种比例阀，包括：阀体，其上设置有安装孔、进液通道和出液通道，进液通道和出液通道位于安装孔的两侧、并均与安装孔相通；阀芯，可轴向移动地密封安装在安装孔内，阀芯上设置有连通通道，连通通道通过阀芯往复移动来实现流量调节；传动机构，与阀芯相连接，用于带动阀芯沿安装孔的轴向往复直线移动；和电机，与传动机构相配合，用于驱动传动机构动作。该比例阀，电机通过驱动传动机构动作，实现传动机构带动阀芯沿安装孔的轴向进行直线移动，改变连通通道在安装孔内的位置，以此来调节比例阀的开度，实现比例阀流量调节，这种比例阀结构比较简单，更容易制作。

公开(公告)号：CN307463036S

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202230069523.7

申请日：2022-02-11

申请人： 合肥亦威科技有限公司

设计人： 冯雄涛 ,  金鑫 ,  顾佳星 ,  张斌 ,  朱泽

摘要： 1.本外观设计产品的名称：温控设备（THD004D）。
2.本外观设计产品的用途：用于半导体薄膜沉积（CVD/PVD）、刻蚀（Etch）等制程的温度精确控制，应用行业一般为LED、IC等晶元制造厂。
3.本外观设计产品的设计要点：在于产品整体的形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN307463035S

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202230069519.0

申请日：2022-02-11

申请人： 合肥亦威科技有限公司

设计人： 冯雄涛 ,  金鑫 ,  顾佳星 ,  张斌 ,  朱泽

摘要： 1.本外观设计产品的名称：温控设备（THG004D）。
2.本外观设计产品的用途：用于半导体薄膜沉积（CVD/PVD）、刻蚀（Etch）等制程的温度控制，应用行业一般为LED、IC等晶元制造厂。
3.本外观设计产品的设计要点：在于产品整体的形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。