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公开(公告)号：CN118423871A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410688953.5
申请日：2024-05-30
申请人： 合肥亦威科技有限公司 , 合肥亦威科技有限公司无锡分公司
摘要： 本发明涉及热交换系统技术领域，具体为一种复叠式超低温精密温控热交换系统；通过高温循环系统对低温循环系统中的热气旁通管路和其余管路中的流体进行温度控制，可以减小热气旁通管路中高温制冷剂气体对循环流体的冲击，缩短系统的稳定时间，提高系统的控温精度，同时可以减小喷液阀的开度，甚至可以不开第六电子膨胀阀，避免经过第六电子膨胀阀的低温气体制冷剂与经过热气旁通管路的高温气体制冷剂在低温级压缩机的进气侧混合不均匀，导致低温级压缩机液击损坏的现象，同时减少由于喷液造成的能量损耗；解决了现有喷液方式冷却热气旁通的高温气体时，可能出现热气旁通高温气体和喷液的制冷剂液体出现混合不均匀的问题。
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公开(公告)号：CN114877739A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210471430.6
申请日：2022-04-28
申请人： 合肥亦威科技有限公司
摘要： 本发明涉及热交换系统技术领域，解决了现有技术中板式换热器在使用过程更换不方便，占据空间范围大，以及无法对其起到保护作用问题，涉及一种基于热交换系统的换热装置，包括作为整个换热装置安装载体的外壳，该换热装置还包括：汇流罐，所述汇流罐用于分路集成从客户端主机台流出的冷却液；还涉及一种应用于上述换热装置的使用方法，包括以下步骤：S1、对客户端主机台进行降温散热冷却液由各支路输入至汇流罐内，通过汇流罐将各支路的冷却液进行集成至一主路、过滤后并输送至板式换热器内。本发明达到了对板式换热器起到保护作用以及便于更换操作、减少管路、降低成本的目的。
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公开(公告)号：CN118034398A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410184791.1
申请日：2024-02-19
申请人： 合肥亦威科技有限公司
IPC分类号： G05D23/20
摘要： 本发明涉及温控系统技术领域，解决了目前半导体生产用温控装置无法兼顾高温和低温工艺要求的技术问题，尤其涉及一种具有高低温切换功能的温控系统，该温控系统包括用于产生高温循环液的高温温控系统，用于产生低温循环液的低温温控系统，以及负载装置，所述高温温控系统和低温温控系统分别通过第一循环回路和第二循环回路与负载装置构成高、低温温控循环回路。本发明能够同时满足制造工艺对高温以及低温的需要，而且由于只需一个半导体用温控装置完成不同温度要求，避免了设备运行的冲突问题，操作更加方便灵活。对于温度的不同需求，无需根据不同需求使用多个单一的温控设备，兼顾了高温和低温的要求，节省了空间和成本。
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公开(公告)号：CN117848152A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410006383.7
申请日：2024-01-03
申请人： 合肥亦威科技有限公司
摘要： 本发明涉及热交换系统技术领域，具体为一种超高温热交换系统；通过设置的控制单元配合降温单元和厂务水系统，根据进液单元和出液单元的流体温差，一方面通过控制单元控制进液单元中流体的流向，另一方面控制厂务水系统中流体的流量，在精确控温阶段，利用厂务水系统中较多流量的水体来对降温单元中输入换热器的较少流量的循环流体进行降温，从而能够避免厂务水系统中经过换热器后的水体温度达到100℃而汽化，从而保证厂务水系统中水体流量的稳定性，从而提高对循环流体的控温精度；解决了通过换热器来实现对100℃以上的流体进行控温时，容易使厂务水端水体汽化而造成流量不稳定，导致难以控制供给设备的循环流体温度的问题。
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公开(公告)号：CN114659309A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210420647.4
申请日：2022-04-20
申请人： 合肥亦威科技有限公司
摘要： 本发明涉及热交换系统技术领域，尤其涉及一种超低温高精密温度控制系统，包括：PCW系统、高温侧压缩机冷媒制冷系统、低温侧压缩机冷媒制冷系统和循环液系统组成的超低温高精密温度控制系统；所述PCW系统用于输入厂务冷却水并与冷媒进行换热带走冷媒中的热量后再回到PCW系统中的回水系统中，所述高温侧压缩机冷媒制冷系统用于与PCW系统输入的厂务冷却水进行换热后降低冷媒压力、调整冷媒流量。本发明达到了高、中、低温无需切换并使用同一套制冷系统的目的，不仅减少了热交换系统所需的零部件，同时整体的体积缩小，在降低成本的同时便于安装以及日常维护，而且能够快速的实现低温、中温、高温之间的转换。
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公开(公告)号：CN113669962A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110956062.X
申请日：2021-08-19
申请人： 合肥亦威科技有限公司
摘要： 本发明涉及温控设备储液系统技术领域，尤其涉及一种内置压力平衡装置的温控系统，包括：储液系统，所述储液系统包括压力平衡回路和压力保护回路；所述储液系统还包括水箱，所述水箱的内部含有由于压力升高而形成的高压气体；所述储液系统还包括安装在水箱上的压力传感器，集成连接板、可调式压力阀、电控截止阀和气液回收装置；所述高压气体依次通过集成连接板和可调式压力阀形成压力平衡回路。本发明通过压力平衡回路对储液系统压力进行控制，保护了储液系统的安全运行，提高了使用寿命；通过压力保护回路以及微电脑处理系统和压力传感器的配合，能够对系统压力进行进一步的保护。
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公开(公告)号：CN113654256A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110954633.6
申请日：2021-08-19
申请人： 合肥亦威科技有限公司
摘要： 本发明涉及厂务冷却水技术领域，尤其涉及一种适用于厂务冷却水的单压缩机双系统的精密温控系统，包括：厂务冷却水系统、压缩机冷媒制冷系统、Channel 1循环液系统和Channel 2循环液系统共同构成的精密温控系统；压缩机冷媒制冷系统包括依次相连的压缩机、高低压开关、第二电子膨胀阀、第四电子膨胀阀、冷凝器、第二过滤器、第一视液镜、第三电子膨胀阀、第一电子膨胀阀、第五电子膨胀阀、第一蒸发器、第二蒸发器和气液分离器。本发明解决了双制冷系统管路多且复杂、能耗大、水流量要求增大以及成本高的问题，远远的减少了内部冷媒系统的管路，并可以有效的降低管路焊接及安装的难度，最终降低冷媒系统焊接出现泄露的风险。
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公开(公告)号：CN118347271A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410399888.4
申请日：2024-04-03
申请人： 合肥亦威科技有限公司
摘要： 本发明涉及热泵烘干机技术领域，尤其涉及一种开闭式恒温恒湿热泵烘干机，包括冷媒循环系统和空气循环系统，冷媒循环系统包括压缩机、冷凝器、电子膨胀阀和蒸发器，其中，冷凝器连接在压缩机的排气管上，冷凝器的出口连接到电子膨胀阀入口，蒸发器连接在电子膨胀阀出口上，制冷剂在蒸发器中蒸发换热后变成气体回到压缩机，空气循环系统包括回风通道、新风通道、中间通道和排风通道。本发明充分利用了物料烘干室排出的废热，提高了烘干机的除湿性能，降低了烘干时间和烘干能耗，使整个系统更加节能和高效，提升了废热的回收效果，避免了蒸发器降温除湿对烘干室的升温影响，使热泵烘干系统处于高效，稳定运行。
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公开(公告)号：CN114314713B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202210067198.X
申请日：2022-01-20
申请人： 合肥亦威科技有限公司
IPC分类号： C02F1/00 , C02F1/42 , C02F103/04
摘要： 本发明涉及纯水发生系统技术领域，解决了目前技术中的纯水发生装置在使用过程更换去离子树脂不方便，占据空间范围大，浪费严重的问题，尤其涉及一种纯水发生系统的提升装置，包括去离子树脂储存装置和过渡储液装置，去离子树脂储存装置插接在过渡储液装置内，去离子树脂储存装置和过渡储液装置为可拆卸固定连接；去离子树脂储存装置包括插接在过渡储液装置内的过滤组件，过滤组件外部的底端套设有加装组件，加装组件与过滤组件焊接，加装组件的底部通过螺钉可拆卸连接有固定板组件。本发明大大增加了系统的空间利用率，使去离子树脂的更换过程更加方便，同时增大了交换面积及容量，并且可以持续重复的使用。
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公开(公告)号：CN113666455A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110956058.3
申请日：2021-08-19
申请人： 合肥亦威科技有限公司
IPC分类号： C02F1/42 , C02F103/04
摘要： 本发明涉及半导体晶圆生产技术领域，尤其涉及一种用于半导体温控系统的纯水发生系统，包括：循环液系统，所述循环液系统包括由水箱装置、水泵、第一温度传感器、负载装置、第一精密过滤装置和第一板式换热器组成的放热回路并依次相连所形成的第一回路；在水泵、第一温度传感器的出口处和第一板式换热器的入口处设置有第二回路，第二回路用于温控系统的纯水发生系统。本发明解决了目前技术中用于晶圆生产的温控设备中纯水发生装置的工艺温度的问题，给离子交换树脂提供一个符合工艺要求的恒定温度，提高了离子交换树脂对水中离子的吸附速度，保证了离子交换树脂的物理以及化学稳定性，提高了树脂的交换容量和使用寿命。
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