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公开(公告)号:CN103657232B
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN201310628415.9
申请日:2013-11-29
申请人: 合肥京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: B01D35/16
摘要: 本发明提供一种清洁过滤器的装置,属于液晶面板制造技术领域,其可解决现有的过滤器的使用量增多且浪费的问题。本发明的清洁过滤器的装置,其包括至少一个用于喷洒清洗液体的喷淋管道,所述喷淋管道上设有喷淋孔,且所述喷淋管道能够插入所述过滤器的内腔中。本发明的清洁过滤器的装置通过控制清洗液体的多少,不仅可以对使用过的过滤器进行清洗,而且还可以在过滤器使用前进行浸泡,以便过滤器更好的使用,其具有较强的适用性。
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公开(公告)号:CN103657232A
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201310628415.9
申请日:2013-11-29
申请人: 合肥京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: B01D35/16
摘要: 本发明提供一种清洁过滤器的装置,属于液晶面板制造技术领域,其可解决现有的过滤器的使用量增多且浪费的问题。本发明的清洁过滤器的装置,其包括至少一个用于喷洒清洗液体的喷淋管道,所述喷淋管道上设有喷淋孔,且所述喷淋管道能够插入所述过滤器的内腔中。本发明的清洁过滤器的装置通过控制清洗液体的多少,不仅可以对使用过的过滤器进行清洗,而且还可以在过滤器使用前进行浸泡,以便过滤器更好的使用,其具有较强的适用性。
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公开(公告)号:CN203782235U
公开(公告)日:2014-08-20
申请号:CN201320833748.0
申请日:2013-12-17
申请人: 合肥京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: C23F1/08
摘要: 本实用新型公开了一种湿法刻蚀机刻蚀装置,包括供液总管道与至少两组同心矩形管道,其特征在于:每组矩形管道均经由一供液支管连接至供液总管,矩形管道通过可旋转弯头固定在支撑架上,矩形管道上均布多个喷淋装置。本实用新型通过将喷淋装置进行环状排布以及通过相应阀门控制各矩形管道上流量压力的不同和驱动连杆控制的摆动不同,控制基板各区域的刻蚀速率,从而达到控制线宽、改善坡度角、提高刻蚀均一性的目的,进而提高基板刻蚀的合格率。
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公开(公告)号:CN203454835U
公开(公告)日:2014-02-26
申请号:CN201320280584.3
申请日:2013-05-21
申请人: 合肥京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: F28B3/00
摘要: 本实用新型的实施例提供一种排气管道,涉及气体冷凝技术领域,提高了产品品质,同时降低了生产成本。该排气管道具体包括:一水平设置的进气管、一水平设置的出气管、一非水平设置的第一中间管和一非水平设置的第二中间管,其中:所述进气管的非进气端通过侧管与底管连通;所述底管与所述第一中间管的下端连通;所述第一中间管的上端通过顶管与所述第二中间管的上端连通;所述第二中间管的下端通过侧管与底管连通;所述底管与所述出气管的非出气端连通。本实用新型的实施例应用于气体冷凝工艺中。
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公开(公告)号:CN203275819U
公开(公告)日:2013-11-06
申请号:CN201320286674.3
申请日:2013-05-23
申请人: 合肥京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号: G02F1/13
摘要: 本实用新型公开了一种基板承载装置,包括具有承载面的载台,位于载台背离其承载面的一侧、沿承载面垂线方向相对于载台往复运动的底座,穿过载台、且一端固定于底座的多根顶针;还包括定位机构,定位机构包括至少两个支撑杆,每一个支撑杆的一端固定于底座,另一端位于载台背离底座的一侧、且设置有限位单元;各限位单元确定多个垂直于承载面的限位面。由于顶针和支撑杆均固定在底座上,支撑杆上的限位单元可以随顶针同步移动,因此在顶针将基板自载台的承载面顶起的过程中,限位单元可以一直处于夹紧基板的状态,所以,本实用新型提供的基板承载装置可以降低基板在被顶针完全顶起至机械手夹取基板位置的过程中因抖动而发生偏移的可能性。
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