气体处理系统及化学气相沉积设备

    公开(公告)号:CN103590018B

    公开(公告)日:2015-11-25

    申请号:CN201310508648.5

    申请日:2013-10-24

    IPC分类号: C23C16/44

    摘要: 本发明提供一种气体处理系统及化学气相沉积设备,属于微电子技术领域,其可解决现有的气体处理系统的能源浪费的问题。本发明的气体处理系统,其包括:用于从反应腔室中抽取气体的抽气装置、用于对从反应腔室中抽取的气体进行处理的气体处理装置,所述气体处理系统还包括:气体监测装置,所述反应腔室与抽气装置,抽气装置与气体处理装置均通过第一管道连接;所述气体监测装置与第一管道气路连接,用于将气体电离,并俘获电离产生的离子而产生电流;所述气体监测装置与气体处理装置电连接,用于控制气体处理装置工作。本发明的气体处理系统可用于化学气相沉积设备,干法刻蚀工艺设备等基板处理工艺的设备中。

    一种气悬浮式下部电极及干法刻蚀装置

    公开(公告)号:CN104362116B

    公开(公告)日:2017-06-27

    申请号:CN201410616083.7

    申请日:2014-11-04

    IPC分类号: H01L21/67 H01J37/04

    摘要: 本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种气悬浮式下部电极及干法刻蚀装置。该下部电极包括下部电极本体、下部电极控制器及至少一对压力传感器,将至少一对压力传感器设置在下部电极本体靠边的位置,每对的两个压力传感器由内向外依次设置,根据压力传感器测得的压力值,下部电极控制器控制冷却气体通孔的气体流量,进而使玻璃基板在刻蚀时与下部电极可保持悬浮,从而真正做到蚀刻不良的零发生,玻璃基板受热均匀,也间接地提高刻蚀时的均一性和刻蚀质量;也避免了因下部电极本体磨损造成的玻璃基板与下部电极本体粘附力增大的问题出现,进而也不会造成玻璃破损。

    薄膜晶体管阵列基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN103872040A

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201210546167.9

    申请日:2012-12-14

    摘要: 本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制造方法,所述薄膜晶体管阵列基板包括:基板;透明电极层,包括像素电极,形成于所述基板上方;栅金属层,包括栅电极及栅线,其中栅电极和一部分栅线形成在基板上方;栅绝缘层,覆盖于所述基板、像素电极、栅电极和栅线上方;有源层,形成于栅绝缘层的上方且与栅电极相对;源漏电极层,包括源极、漏极和数据线、以及另一部分栅线,形成于有源层及栅绝缘层的上方;其中所述栅绝缘层上形成有连通孔及过孔,两部分栅线之间通过所述连通孔连通,所述漏极与所述像素电极通过所述过孔连通。本发明的阵列基板,简化了生产工艺,降低了生产成本,缩短了生产周期。