一种用于MIV检测与故障定位的内建自测试装置及其方法

    公开(公告)号:CN118091368A

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202410230635.4

    申请日:2024-02-29

    IPC分类号: G01R31/28

    摘要: 本发明公开了一种用于MIV检测与故障定位的内建自测试装置及其方法,应用于单片三维集成电路两层功能层之间,用于检测单片三维集成电路中底层功能层与顶层功能层之间的层间互连MIV,包括:BIST控制器、输入扫描链模块、输出扫描链模块、故障检测定位模块、故障屏蔽锁定模块和地址解码器;并设计一种用于MIV故障检测与故障定位的测试方法,可以有效检测与定位复杂分布的MIV中的开路故障、固定故障和所有可能出现的短路故障,同时可以实现对MIV分组测试。本发明复用了单片三维集成电路功能层中的扫描链,从而能减少测试开销,并提高测试定位的准确性。